阴极制备过程中铝酸盐地研究.pdfVIP

阴极制备过程中铝酸盐的研究 鲍际秀王佩筠 (上海交通大学电子束及真空技术研究所上海200030) 摘要：本文讨论了铝酸盐的制备、结构及其浸盐温度，实验发现，经过充分搅拌混 合均匀的原材料，在普通气氛中烧结生成的盐为多相结构，在特殊气氛中烧结生成的盐 为单相结构。 关键词：铝酸盐XRD浸渍烧结 阴极是真空电子器件中的发射源，是真空电子器件的重要组成部分。阴 极性能的好坏直接影响器件的工作特性和使用寿命。好的阴极必须具备发射 电流密度大、工作温度低、发射性能稳定、蒸发小等特点。这就相应要求制 备阴极的发射物质具有优良的物理及化学性能。钡钨阴极用的盐有铝酸盐、 钨酸盐、铝代硅酸盐、钪酸盐等，由于用铝酸盐制成的钡钨阴极激活时间短、 表面发射较均匀、发射稳定、有一定的耐离子轰击能力、寿命长，而且阴极 制备工艺稳定、易成型等特点，因此铝酸盐钡钨阴极在真空器件中得到广泛 的应用。铝酸盐的配方比有多种，按BaC03：CaC03：A1203的摩尔比，常用 的有4：1：1，5：3：2，6：1：2等[1-4]。 1．实验过程 1．1铝酸盐材料的配制 铝酸盐是由BaO、CaO、A1203在高温下进行固态反应合成的，由于BaO 和CaO在空气中极易吸收H20、C02及其他气体物质，所以一般选择BaC03、 CaC03、AI(OH)3或A1203作为合成铝酸盐固态反应的原始材料。烧结过程中 的化学反应如下： F刁高温烧结 + I co：I———÷ I I I．．．．．．．．．．．．．．．．．．_J 1．2材料的结构及性能测试 铝酸盐的结构采用XRD分析：浸盐时用光学高温计测量温度。 2结果与讨论 2．1搅拌时间对烧结的影响 铝酸盐的制备过程中有三种以上的反应物，将它们混合，经机械搅拌均 匀后方可烧结。搅拌时间不同，烧结后生成的盐从表面看均匀性也不同(见 224 表一)。 表一原材料搅拌时间对盐均匀性的影响 时间 t t+5 t+10 t+15 t+20 盐均匀性 非常不均匀 不均匀 较均匀 均匀 很均匀 由上表可知，当搅拌时间较短时，烧结后生成的铝酸盐表面明显很不均 匀。随着搅拌时间的增长，反应物搅拌越来越充分，混合的越来越均匀，烧 结后生成的铝酸盐从表面来看就很均匀。铝酸盐的均匀性很重要。如果原料 混合的不均匀，部分原料之间的比例就不再满足411比例，那么烧结后生成 的盐也不均匀，当浸盐时取盐不同部位所制得的阴极一致性不能保证，这样 就无法实现盐的批量生产【5-61。 2．2材料的结构分析 铝酸盐经原材料混合、压制、固相化学反应烧结而制成，其主要的化学 反应为 f (1) 3BaC03+CaC03+A1203--Ba3CaAl2017+4602 f (2) 3BaC03+A1203一Ba3CaAl20v+3C02 f (3) 10BaCOs+4A1203-3BasAl206+BaAh04+5C02 岔 e 蓉 ∞ 量 5 20(。) 图1铝酸盐1400。C烧结后XRD图 活性物质的主要成分，单钡铝酸盐BaAl204不是活性物质的主要成分。对烧 结好的铝酸盐进行XRD分析，由谱线的相对强度(UIo)、衍射角的位置(0) 来确定生成什么结构的铝酸盐，由各物质主峰强度值相对比来粗略估计产物 中各物