准晶材料真空蒸镀薄膜地研究.pdfVIP

第ptl届中困热处理活动刷暨第九厢江券省热处理年会论文集(2006年5月，南京) 准晶材料真空蒸镀薄膜的研究 周细应”，刘延辉1，何亮1，钱士强1 得了升i同特性的薄膜。用透射电镜、扫描电镜(SEM)、x．射线衍射仪(XRD)等对薄膜的组织结构和性能进行 相。延长蒸镀时间，薄膜厚度会相应地增大，硬度提高；提高电流，薄膜厚度会相应地增火，硬度提高。 关键词：AI．Cu．Fe；准品材料；真空蒸镀：薄膜：厚度 随着研究的逐渐深入，人们发现准品材料具有硬度高17J、不粘性、耐热、耐磨、摩擦系数低【3J、耐蚀14】及特 殊的光学性能的同时，准晶材料还具有室温脆性火的不足。对于准晶材料的应用，主要集中在准晶复合材 料和准品薄膜两个方面。通常，制备准晶薄膜或涂层主要有物理热喷涂15J和气相沉积16】方法。直接将准品 材料以真空蒸镀的方式在基体材料表面，目前鲜有报道。本文试图利用Ai65Cu20Fel5准晶粉末，采刚真空 蒸镀的方法制备薄膜，设计出适当可行的真空蒸镀的jt艺参数。分析薄膜的组织结构和其他相关特性，对 推动准品薄膜在航空、航天、石化、汽车等领域的应用具有积极的意义。 1试验方法 1．1试验方法 蒸发舟材料为铝片。真空蒸镀薄膜的仪器为DMD．450型多层镀膜机。整个试验的．f：艺流程为：镀前处理 一真空蒸镀一镀后处理。全部过程结束后，．【j件在真空中冷至100℃左右便可取出试样。真空蒸镀时，真 220A；蒸镀时间分别为10、20、25、30、35、40、50、60 200、220、240、260A。 1．2薄膜组织和性能分析 截面的组织来确定。 2试验结果与讨论 2．1薄膜的组织结构分析 薄膜的截面金相组织如图1所示，从照片上可以明显观察到薄膜的分层现象。根据蒸镀+I：艺的不同， 多则有将近十层，少则有二四层。薄膜的透射电镜组织如图2所示，该薄膜并没有直接获得典型的准品结 构的。经过对图2的电子衍射斑点分析，该组织为CuAl2相。 125 图1薄膜的金相组织 图2薄膜的TEM组织 套 ‘历 C 3 三 2theta mAICu3) 图3薄膜层的XRD谱(◆CuAl2VAl65Cu20Fel5 薄膜的X．射线衍射图谱如图3所示。由图可以看到，其衍射峰除了基体衍射峰以外，主要还有CuAl2 相、A1Cu3相的存在，以及A165Cu20Fel5准晶相的存在。这表明在不同的蒸镀过程中，并不是任何情况下均 断出，有时薄膜中可以形成A113Fe4相和FeAl3相的存在。 是可能形成Al、Cu、Fe之间的二元(如CuAl2、AICu3、AIl 含A165Cu20FeI5准晶相)，应该看到，形成的薄膜成分配比禾1原子配比与薄膜的结构存在着密切的联系，试 验结果和相关的报道也证实了这一点。薄膜组织的分层现象可能是由于温度的改变，导致有些熔点较低的 原子先被蒸镀到基体上与之形成薄膜层，而另外一些熔点较高的原子后蒸发。随着温度的不断升高，不同 熔点的原子依次被蒸发，从而造成分层。也有可能是因为在真空蒸镀过程中，薄膜材料的不断蒸发，导致 腔内真空度不断变化，使被蒸发的原子在不同的气真空度下蒸镀到基体表面时，由于结品条件不同，品核 J。 外延增人合并为初始薄膜过程中出现了分层现象p 2．2薄膜厚度分析 在蒸镀电压不同的条件下，薄膜厚度与蒸镀时间的关系如下图4。从图4可以明显地看出薄膜厚度随 蒸镀时间的增加而增厚；并且蒸镀电压不同时，蒸镀时间对薄膜厚度的影响是不同的。当电压为5V时， 薄膜在20～30min区间迅速增厚，随后速度明显变慢。而当电压为IOV时，薄膜增厚速度基本一致。 在保持蒸镀时间20min的情况下，薄膜厚度与蒸镀电流的关系如图5所示。薄膜厚度随电流的增人而 变厚。不同的蒸镀电压时，薄膜厚度的增K趋势