微驱动精密定位系统与控制方法的研究.pdfVIP

2蒙霉5全国博士生学术论坛 微驱动精密定位系统及控制方法的研究 晏祖根，孙立宁 (哈尔滨工业大学机器人研究所，哈尔滨150001) 摘要：运用弹性力学原理，分析了双层平行板弹性铰链的刚度，利用有限元分析软件ANSYS，仿真微动工作台的静力变形、 应力分布和问有频率，设计了基于压电陶瓷直接驱动的精密微动工作台。压电陶瓷存在迟滞、蠕变等同有的非线性缺陷，仅 靠PID控制难以取得满意的控制效果，单神经元自适应PID控制器结合了传统PID结构简单、调节方便和单神经元自学习、 自适应的特点，能够对压电陶瓷的非线性特性进行自学习、自适应控制。实验证明，运用单神经元自适应PID控制微位移 定位系统，取得良好的控制效果。 关键词：微驱动；压电陶瓷；有限元；单神经元；自适应 中图分类号：TP242 onPrecisionMicro--driven andits Study PositioningSystem YAN Zu-gen，SUNLi-ning Research Institute (Robot Institute，HarbinofTechnology,Harbin150001，China) was Wassimulated micro。tablebased Abstract：Theofflexural calculatedandthemicro．table ANSYS8．0．Then，the rigidity hinge by onPZTdrivenWas hasbeencarriedout neuron PIDcontroller．Theresults designed．Experimentationusingsingle adaptive demonstratethatthe micro-driven has control and system qualitydynamicresponse． precision positioninggood word：micro-driven；PZT；finiteneuron；adaptiVe Key element；single 随着精密工程技术的快速发展，精密定位技术 的需求日益增长，在诸多如微小机械零件装配、微 EM 机电系统(M S)组装等精微操作领域具有广泛 的应用前景。压电陶瓷致动器结构紧凑、分辨率高、 响应快、控制简单，是一种理想的微位移执行元件。 本文利用ANSYS8．0进行有限元分析，采用双层平 图1 微动工作台模型示意图 行板柔性铰链结构，PZT直接驱动方式，设计了精 Sketchofmicro·table Fig．1 密微位移：[作台：在此基础上搭建了精密定位系 统，采用单神经元自适应PID控制器，开展实验研 究。 G(5)=兀丽Kco．2 (2) 1 微位移工作台的设计与仿真 式中：系统刚度K==妥，系统无阻尼自然频 K。+K， 1．1微位移系统建模 微动工作台示意简图如图1所示，设PZT输出率％=降，阻尼峥去。