常压介质阻挡放电等离子体发射光谱的检测分析.pdfVIP

第 18 卷 　第 2 期 光 　散 　射 　学 　报 Vol18 　No 2 2006 年 6 月 THE J OU RNAL OF L I GHT SCA T TERIN G J une 2006 文章编号 (2006) 020 15605 常压介质阻挡放电等离子体发射光谱的检测分析 1 1 1 2 唐晓亮 , 邱 　高 , 王 　良 , 冯贤平 ( 1. 东华大学物理系 ,上海 　20005 1 ; 2 . 波多黎各大学物理系 ,波多黎各 　0093 1 - 3343) 摘 　要 : 以常压介质阻挡放电等离子体作为研究对象 ,在常温常压条件下使用介质阻挡放电光谱诊断装 置 ,得到 N2 第二正系跃迁和 Ar 原子发射谱线 。通过对放电光谱的检测分析 ,可以察知常压介质阻挡放电 等离子体的特性 ,并可运用同一元素谱线的相对强度来诊断电子激发温度等物理参量 , 以达到对材料表面 改性过程的实时监控 ,工作的结果对常压介质阻挡放电及其在材料改性的应用中具有重要的意义 。 关键词 : 介质阻挡放电; 常压 ; 低温等离子体 ; 发光光谱 ; 等离子体诊断 中图法分类号 : O46 1 , TM832 　　　文献标识码 : A Spectroscopic Investigation of Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge Plasma 1 1 1 2 TAN G Xiaoliang , Q IU Gao ,WAN G Liang ,F EN G Xianping ( 1. Dep art m en t of Phys ics , D ong h ua Univers ity , S hang hai 20005 1 , Chi na ; 2 . Dep art m en t of Phys ics , Univers ity of Puerto R ico , S an J uan , PR 0093 1 - 3343 , USA ) Abstract : Dielect ric barrier discharge (DBD) plasma at at mo sp heric p ressure has become higher and higher wit h it s ever - increasing applications to surface modification of materials. For con t rolling t he p rocess of materials surface modification p romptly , t he spect ral lines of nit rogen and argon plasma emission were recor ded and analyzed by using spect ral diagno sis equip ment of dielect ric barrier discharge plasma at at mo sp heric p ressure . The experiment