激光粉末颗粒粒度分析仪招标书 - 上海交通大学实验室与设备处.docVIP

原子层沉积系统招标书 （JDBS 12 – 31） 根据工作需要，上海交通大学材料科学与工程学院高濂科研团队需要购买原子层沉积系统一套，现将技术指标列举如下。 设备要求与主要技术规格 设备用途：、 仪器主要技术指标 系统： 技术参数 *304不锈钢柜 *可放置于Class 100无尘室 可拆卸侧板便于接驳维护 *工艺模式持续模式 (高沉积速度), 模式(控制真空阀以达到超高深宽比结构沉积工艺2000:1) *至少4条源气路，且带有臭氧发生装置 *所有加热器和组件由计算机控制 反应室 技术参数 *ALD的反应室：304不锈钢平板加热壁及手动放片。经处理过反应室延长预防性维护周期 *最大片子尺4” (100 mm)直径, 0.25” (6.4 mm)厚 *专有涂层Kalrez高温密封圈放于反应室槽 *片子400°C（如使用超300°C，290°C），以防止Kalrez密封圈 *两个区域反应室加热器：加热壁和基板加热 *充大气时间：1分钟（质量流量控制器调节充大气，以防止湍流-例如使用小样片时令其移动）。 冷触手柄，铰链式顶开盖子。 抽气管道部分 技术参数 *加热抽气管道，以防止冷凝。 *一个压力真空计测量范围10-4 to 103 Torr *气动高温波纹截止阀，用于高宽比沉积和排气 *Alcatel 2005i泵，使用泵油：Fomblin 25/6 (用户提供) 膜均匀性 技术参数 *薄膜厚度的均匀性：≦1%（1σ）, 以Al2O3为标准， 在4英寸晶圆上沉积，测试五个测试点（片子的顶部，底部，左，右和中心），排除边缘六毫米测量。均匀性（σ％）=（厚度标准偏差/厚度均值）×100 Software軟件 技术参数 *独立的LabVIEWTM系统可执行控制软件通过USB控制最多6条沉积源气路，（在无LabVIEW?的计算器上运行）。 *带许多内置安全功能。 三. 技术服务要求：1 设备安装调试 仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后一周内执行安装调试直至达到验收指标。 2 技术培训 在用户所在地对用户进行基本操作培训，培训内容包括仪器的技术原理，操作，数据处理，基本维护等。 3 保修期：提供年免费保修，保修期自验收签字之日起计算。4 维修响应时间：应在内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在小时内解决，5 软件升级：卖方应免费向用户提供仪器软件。 6 技术：报价方式： 交货期10-12周 明确产品原产地 100%L/C，90%即期，10%验收合格后支付。 如果实质性响应招标文件的所有投标商的投标价格均超过上海交通大学本项目预算，上海交通大学将保留在发出中标通知书之前拒绝所有投标的权利，投标商应考虑高校的特殊性给予最大的优惠。 根据项目研究需要和系统配置的情况，评标方法将采取综合议标的方法，择优录取。标书内必须附有供应商的营业执照、经营范围等资质证明的复印件。投标书应标明提供的设备型号、主要功能特点与性能指标、技术和商务偏离表、配置、数量、价格、产品原产地，质量保证、维护保修周期、范围、费用、保修人、承诺条款，其他优惠策略等。 请各投标单位根据标书的要求，将投标书一式六份（一正五副）于2012年11月27 日下午15：00前交于闵行区东川路800号 上海交通大学实验室与设备处进口科 （新行政楼B楼407室），邮编200240。联系人：朱斌雄8181）、肖沙8171）。逾期未交者，被视为放弃投标。 技术要求联系人：：