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第19卷第5期 传感技术学报 v01.19No.5
CHINESE OF ANDACTUATORS
2006年10月 JOURNALSENSORS 0ct.2006
on in
Fabricationof3DMicro-Structure
Study Polymer
PhotovoltaicCellsBasedon
NanoimprintLithographyTechnology
YlNLei’,LlU
Hong—zhong,DINGYu—cheng,LUBing—heng
710049,China)
(StateKeyLaboratoryforManufacturingSystemsEngineering.Xi’anJiaotongUniversity,Xi’an
Abstract:The mouldis tOfabricatethe
polydimethylsiloxane(PDMS)softapproached organic
tureofthe canbe achieved
photovohaic(PV)device,whicheasily bynano-imprint
anddiscretediamonds,whichcriticaldimension(CD)isinsub—micron
technology.Parallels
transferredmicro betweensoftmouldand film.Theoreticaldeductionandsim—
throughcontacting polymer
ulationaboutelectronictransitionshowthatthefabricationofPVdevicescan its
improvepower
resultscertificatethetheoreticalresults.
efficiency.Experimental
device
micro/nano-structures;PV
Keywords:Nano-imprint;3D
EEACC:4250
基于纳米压印技术的光伏器件微三维构型研究
尹 磊’,刘红忠,丁玉成,卢秉恒
(西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安710049)
摘 要:将纳米压印技术应用到三明治结构光伏器件制作.采用具有三维微结构(平行波纹、离散孤岛)软模具,通过纳米压
印将定制化微三维结构转印到电子给体层和电子受体层的异质结界面上,以增大异质结界面实际面积,提高光伏效率.通过
仿真计算,模拟了通过微结构界面几何改变,提高有效面积内异质结界面实际接触面积,从而增大载流子浓度的过程,优化三
维微结构几何特征.典型试验结果证明了光伏器件异质结三维微结构界面对光伏效率的良好效果.
关键词:纳米压印;三维微结构;光伏器件
中图分类号:TM914 文献标识码:A
能源是人类赖以生存的基础,能源的开发和利
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