连续浮雕步进扫描控制的研究.pdfVIP

2001年10月 第十一届全国电子束-离子束·光子柬学术年会 四川．成都 连续浮雕步进扫描控制研究 罗正全，胡松，王肇志，赵立新 (中国科学院光电技术研究所，成都610209) 摘要：在制作微透镜阵列时，光刻过程是采用连续浮雕方式。因此，其光刻设备在满足一般 光刻要求的基础上，还应具备曝光时间和步进距离均可连续调节的步进扫描曝光功能．本文 介绍了科学院光电所研制的URE，2000D型光到机控制系统的结构组成及控制软件设计，对 连续浮雕步进扫描控制原理及其功能实现予以了重点讨论。 关键词：曝光；单片机；软件；步进扫描 1引言 我所研制生产的URE-2000型系列i线深度曝光光刻机适用于中小规模集成电路生产，微机电系 统、微光学、红外及声表面波等器件研制和生产工艺中的一次或多次曝光。具有分辨力高、套刻准、 胶，曝光时间600s)、自动化程度和可靠性高等特点II】。其中的D型光刻机除具备以上功能外，还特 别设计了可电动控制的x、Y扫描工件台．具有曝光时间和步进距离均可在一定范围内连续调节的步 进扫描曝光功能，以满足微透镜阵列光刻或其它需要连续浮雕功能的特殊曝光要求。 URE．2000D型i线深度曝光光刻机控制系统的功能要求主要有：自动定时曝光控制；气浮、掩模、 旋转、快门电磁阀控制：X、Y方向连续浮雕步进扫描控制等。其中，如何实现连续浮雕步进扫描控 制功能是本电控系统的研制重点。另外，在系统设计时，除满足功能要求外，方便操作、提高控制效 率和运行可靠性亦应予以高度重视。 2控制系统的结构组成 控制系统的结构组成框图如图1所示．分别介绍如下。 图1控制系统结构组成框图 2．1主计算机及接口 PC机具有人机对话能力强、软 主计算机选用标准的PC机，接口采用16位并行输入，输出方式a 件丰富、控制简单、用户操作方便等籍点，其接口电路亦非常简单。系统的控制指令及数据均由PC 机通过其接口发出，因此，Pc机是本控制系统的指挥中心。 2．2单片机及接121 单片机是本控制系统的执行中心，当单片机接收到主计算机的指令和数据后，根据其指令和数据 的不同自动完成相应的功能操作。单片机选用自带EEPROM的89{251·具有电路简单、控制灵活、调 试方便、运行可靠等优点。由于采用了单片计算机技术．其系统控制及数据处理能力均有较大提高。 2001年143月 连续浮雕步进扫描控制研究 217 2．3均匀性检测及电机驱动 当更换汞灯后·曝光面上的光强及照明均匀性均有可能改变。为此，需要对曝光面上的光强进行 检测，根据其检测结果调整汞灯位置，使曝光面上的光强及照明均匀性处于最佳状态。均匀性检测由 光电探测器、放大器、12位A／D转换器、电机驱动器等电路组成，其工作原理是：光电探测器置于可 前后运行的工件台上，工件台由步进电机驱动，可对工件台移动范围内的任意一点的光强进行检测， 同时，工件台可手动旋转，通过手动与自动操作相结合即可将整个曝光面上的光强分布检测出来。 2．4X、Y工件台电机驱动 要实现连续浮雕功能，要求x、Y工件台的移动速度及步进距离均应在一定范围内连续可调。为 此，x、Y工件台驱动采用日本RORZE公司生产2相步进电机及其与之相匹配的细分步驱动器，其最 大细分数可达8万细分，转。通过改变细分步驱动器的步进脉冲频率和细分步数控制X、Y工件台的移 动速度及步迸距离，从而实现连续浮雕功能。 2．5电磁阀驱动 电磁阀驱动电路采用达林顿三极管，为消除系统干扰，驱动电路与控制电路之间均采取了光电隔 离(包括电机驱动)措施，进一步提高了系统的运行可靠性。 另外，所有运动部件的每一个运动方向上的两端均设置了限位开关，以防止运动部件因运行不当 而卡死或损坏。 3控制软件 主计算机负责向单片机发出各种命令和数据，指挥单片机按指令和数据要求执行相应的操作，当 进行均匀性检测时，则适时接收并显示单片机输出的检测数据，整个曝光面上的检测完成后立即对检 测数据进行处理并显示其均匀性检测结果。PC机的人机对话界面简单适用，用户操作非常方便。 单片机是本控制系统的