扫描热显微镜测量机理地研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 第十届年会 编号013118 扫描热显微镜测量机理的研究 阮修林韩立顾毓沁 (清华大学工程力学系北京100084) 1 电话：(00 摘要：从理论上分析扫描热显微镜测量中的传热过程．对热阻网络中各热阻进行了具体分折，得出 了热阻网络的具体表达式：进行了系列实验．实验揭示了形貌和热像图之间的关系，并给出了解释， 对理论分析作出了部分验证：还用多种参考材料样品为热导率澜I试作出初步标定。 关键词r扫描热显微镜热阻热导率船萄采一 4) l引言 热物理量．例如，温度、热量、热流密度、热导率等的测量技术，随着高技术的 发展，许多领域的研究对象已经进入亚微米和纳米范围。因此．在1986年，扫描热显 徽技术就应运而生了[【J。本文就其溅量机理和应用做出初步研究。 2测量原理 扫描热显微术是在原子力显微镜(AFM)的基础上形成的，AFM的组成如图I所 刁i。 当探针在样品表面上沿着X． Y方向扫描时，探针与样品表面 之间相互接触．针尖与样品表面之 间将会发生作用力，使探针臂产 生弯曲变形，将会导致反射的激 光束偏转，这个偏转可以被光探 测器检测到，然后送往反馈控制 系统，反馈系统输出一个信号到 x．Y．z扫描控制台，控制样品沿z 图l原子力显微镜示意图 、 方向上下移动．使探针与样品间的 作用力保持不变，这时，样品z轴方向上的位移即反映了样品的表面形貌。 把原子力显微镜的探针发展为具有热测试功能的热探针．并相应增加一些辅助电 路，就成为扫描热显微镜(snd讧)。它的工作模式有两种口J，分别是被动模式(温度测 试模式)与主动模式(热导率测试模式)。 2．1被动模式(温度测试模式) 被动模式下，温度较高的样品将向探针传递热量，可以用如图2(a)所示的热阻 网络来进行分析。其中，R是薄膜热电阻到探针基础的热阻，主要是由构成探针悬臂 粱的材料决定的，可以认为不变；R是探针与样品间的总热阻，由以下～些环节构成： 气体导热的热阻＆、探针与样品表面间水蒸汽膜的热阻R。、固体接触之间的热阻R。、 探针与样品问对流换热的热阻R。。与辐射熟阻K。Tb是探针基端的温度．近似等于环 境温度T0-T【是探针尖的温度，T|是样品表面的温度。被动模式下探测时，可以认为 样品是一个热源．探针在扫描过程中对样品表面的热场影响很小。 巳 』 盅‘ (a)被动模式 (b)主动模式 图2探针与样品问的热阻网络 最后可得探针温度与样品温度间的关系为： z=彘L+忐五 “’ 2．2主动模式(