生物芯片技術中微型流路加工地研究進展.pdfVIP

第二届海峡雨岸制造技衔研衬t输文集 2001年9月大遵理工大摹 生物芯片技，街中微型流路加工的研究遣展 镡久彬，金腾 (哈硒渍工菜大睾自勤化测弑及控制系，哈雨淡150001) 加工周期短。加工成本低，可遣行批量生廑，易獾得高深竞比的微小结横等特站。日益成篇 徽小流路加工技衢中一倜研究熟翼占。本文封PDM$微小流路的Rapid 成型微馒制技衔遣行了综述分析。结果表明，孩方法完全遗用于／／rAs系统及其他生物化摹 分析髅器中徽，j、流路的加工。 瞻踺箭：PDM$@哟曲mthylsi蛔【锄≮聚二甲基硅氧烷)．微型流路，Rap画d 衙。注射成型敏馒制技街。 1引言 生物芯片技街。被謇篇2l世纪生命科筚的支撵技衡．是便描式生亿分析馁器的技街核 心。孩技衔利用微鼋子工豢技街，’将现在生命科翠研究中。各自篇陴”的分析遏程集成在一 堍指甲大小的生物芯片上。使生命科单及罾翠工作者可以在方寸之上遣行和完成一系列膏酸 程序，粤家们因此；}簪其耩之岛“微缩芯片膏酸室气它的甓晨同童年需要敦同房屋放置的分 雕元件针算橇，微缩成现在只有荤耗本大小的霉膦有异曲同工之效。采用靛技锵可遣行生命 科翠和臂翠科犟所涉及的各獯生物化睾反感．绽而逵到封各项生化指檩遣行测就分析的目 的。生物芯片技：|j睁的出现；l辱鲁给生命科孚、臀犟科睾、化单．新蔡阴蛩、外太空探索．司法 鉴定、食品和瑕境盏擐0等领域带来一埸革命。 篇基馒，采用瀑法刻触技街或干法刻蚀技街加工出阴放的微小流路，然后采用硅硅键合技镌， 舆硅片或玻璃槽成封朗的流路。但由于瀑法刻蚀具有刻蚀畴髑畏。猛得各向异性刻蚀困雉等 缺16；而干法刻蚀具有彀借昂寅，封操作人员要求高等同题，柽大地限制生物芯片技衡的逮 一步臻展。另外硅硅键合中较高的键台温度也是微小流路加工中的一倜亟待解决的简题。随 后出现的PMMA微小流路的微加工技衍，由于PMMA封丙酮等化睾馘削的耐受能力差等 缺黠。亦捶大地限制了PMMA微小流路的虑用耗圈。 本文中将封以PDM$乌加工材料的微型流路加工技街遣行综述分析。PDM$微型流路的 RP(Rapid 高等同题得以解决。孩方法利用f瞎罩的膏酸蔽借，在普通的膏黢室僚件下．即可膏琨微米量 级微结楷的高精度馒制。因而，该方法成篇微型流路加工领域中的一佃令人注目的研究熟贴。 179 2PDMS的材料特性及加工特性 目前公韶的第一倜微流路器件感岛1970年美团Standord 起，各獯新型材料不断地被虑用于散器件的微加工瓴域中来”“。特别是最近畿年，高分子 材料的引入。相封于硅和玻璃，高分子材料具有材料僚格低，可以使用注射成型或模壁等加 工手段代替刻蚀加工。但高分子材料一般均存在表面化孽特性控制摊度较太的同题。 PDMS材料的出现已经有很多年了，但作南微hUT材料被引入微器件的加工领域不遇是 遣一雨年的事情。由于PDMS材料表现出的僵良材料特性及anT特性，往它出现的那一天 起．就引起了研究人更的嚼目m： 1．可以在微米筢国内。利用注射成型微馒制技街寅现高精度後制，易于膏现大规模生崖； 2．光晕透遏性好。最低透遏可逵到280nm。可被虑用于基于各稳分析梭测原理的寅验系 统中； 3．低温特性好； 4．舞毒，哺乳勤物的细胞可直接在其表面上培饕。同畴，PDMS器件可以植入活髓内使 用； 5．具有形状耙博能力； 6．密封特性好，通遏分子同作用力，可以舆多獯物簧直接吸附在其表面； 7．其表面化犟特性容易控制； 8．由于PDMS南弹性髓。所以容易逋虑各獯表面形貌。同晴，易于往馑雅模具中脱模， 且不官掼壤模具。 3 PDMS微型流路的加工 岛解决傅统以硅或玻璃岛加工材料的刻蚀加工中存在的黄用高，加工周期畏等同题，新 型材料和新加工手段不断被引入微型流路．微结槽的加工领域。在膏酸教静陪段，由于微型 流路的结耩参数，如流路的断面尺寸。畿何形状等需要不断修改，因此，上述同题越琵成意 矛盾的焦墨占。能否有效缩短加工周期．降低加工黄用，成为微型流路加工领域中的一佃亟待 解决的简题；基于RP技街和注射成型微馑制技衡的PDMS微型流路的徼加工手段，成岛解 决遣一同题的一徊有效方法。 3．1RapidPrototyping 遣行高精度．快速加工，以搓得微米量级的微