掺磷纳米硅薄膜显微结构与电性研究.pdfVIP

7 J Aopl 35：4780～4784 Tels-I强M粕删m吐蛆·JpnPh弘1996Vol 267=222～225 8Yfeldmann毗．Science．1995Vol 1973Vol20：217～2202 9EIGiwozov。JourrlaJofCrysmlGl∞,Wth 10M．Yazawaetm l“1991Vol58：1080～1082 Appl．phys 掺磷纳米硅薄膜显微结构和电性研究 徐刚毅¨刘明z李国华3杨海强4高聚宁‘陈晨1何宇亮1王天民1,2 1． (北京航空航无大学材料物理与化学研究中心北京100083) 2． (兰州大学材料系 兰州730000) 3． (中科院北京半导体所超晶格与微结构国家重点实验室) 4． f中科院北京_冀空物理国家实验室) l 引 言 性。膜中细微晶粒(几个nm大小)具有量子点特征(31(4)。纳米硅薄膜具有室温可见发光