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1999年 第十届全国磁学和磁性材料会议论文集 139
新型自旋阀巨磁阻多层膜[NiFe／Cu／Co／Cu]。材料研究
冉崇斌 张怀武
电子科技大学信息材料工程学院 成都610054
磁性层厚度的变化关系，磁电阻随周期数的增加而单调上升，随非磁性层厚度增加发生振荡，并且振荡幅值逐渐减小。优
所制备的自旋闽多层膜样品，测量出不同周期数的磁滞回线．并作了相应比较。
1引言
难有实用价值；目前对巨磁阻多层膜材料的研究主要集中在自旋阀型。自旋阀多层膜磁电阻为10％上下，
因其饱和场低。磁场灵敏度可达(0．2～2)％／oe，可作为高密度磁记录磁头、信息存贮芯片及传感器的基
场灵敏度达2％／Oe【”，但因稳定性同题，在实际应用中受到限制；本文报道一种新型自旋闼巨磁阻多层膜
性层降低了饱和场，使其饱和场Hs590e，并且具有好的温度稳定性和寿命。
2实验
溅射台。本底真空优于4．0×10一mbar，溅射气氛
为氩气。溅射气压2．0×io．2mbar，基片采用普通
医用载玻片，不用任何缓冲层。[NiFe／Cu／Co／
cu]。多屡膜直接沉积在基片上，基片温度小于
6
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制．整个溅射过程由工控机自动控制完成，溅射功
率设置在30W。
用四探针法测量了常温下薄膜磁电阻的值，
磁场和电流都在膜面内，电流和磁场相互平行。
用交变梯度场振动样品磁强计测量了常温下
的磁滞回线，最大磁场为2000e。
图l[NiFe(25A)／Cu(55A)／Co(25A)／Cu(55A)]30
样晶GMR～H曲线 3实验结果与讨论
3．1典型自旋阀多层膜样品的磁阻系数随外
磁场H的变化
8 如图1，随着外磁场从零开始增加，磁阻系数
逐渐上升，当外磁场达到590e时，磁阻出现饱
8
和，此时，磁阻系数为8．1％，饱和场Hs590e，
4 磁场灵敏度O．22％／Oe。此后，继续增加外磁场，
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磁阻系数逐渐下降。
2
0 3．2自旋阀多层膜样品的磁阻系数与周期数
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