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一种新型spindt真空三极管磁敏传感器的研究 邓宁朱长纯李俊峰 西安交通太学电信学院真空馓电子研究所 犒件类属：3、真宅懒电子元器僻的设H、计算、模拟研宄 112i要本文提出了一种新型结构的真空儆电于磁敏兰感器。蜴传感嚣的阳搬分为五 个部分，可H橙删出电子束流{生j磁场怍用下的偏转．利用尘标变掩对磁场的三维分量分 离求解最终确定器件昕庄位置的磁场。解决了以往真空微电子磁敏佳譬器不能检测任 意万向磁场的问题。分引用解析和数值方法分析丁暖结构。电子往磁场作用i偏转与磁 场的关系。计算结果表明此种结构的磁敏传感器具有很高的灵敏譬c10‘{／T)． 关犍谪：真空微三辍管 电于偏转 磁敏传惑器 1．弓I言 s口indt型真空儆三械管是真空微电子器件[=t-分重要的类型，舆主耍商用领域之一 就是倦感嚣：由f真空馓电子磁敏传感器具有抗辐射、工作温度范围完、可由半导体工 艺制作、易于与，}部处理电路集成等优点㈠，国内外对此进行7～些研究‘：“。但以往 的磁敏传感嚣都存在一4-Jr同的问题：碍被删磁场的方向育所要求-要求磁场万向垂直 或平行于电子束运动的方向，这板大地限制』，真空微电子磁敏传感器的应用-本文提出 了阳极分为五个对称区域的新结构，结合科磁场分量进行坐标变擒的蚌法，实现了对任 意方向磁场的检测， 2．原理 2．1器件结构 该传感嚣的结构妊国i所i：。 c型真空黜三极管u照午龙强堇敞传感器，要 由图中可以看出，鎏件总沣群，构为∞i“d 求栅极下平面高于阴捉袅锥，使锻极同护起参聚焦的。#}于j。龟艇“疆下1：面与明撮尖锥纵 以嶂得扶栅孔发 同l甘1距一定的忝件下．存盘一缩口-仇f也的芳敬-r召幔电压耗栅‘一睁j 射出准平行电T束，传惑器的付，叱设计并文与Ijl仑述a 砸极分为五个中心对称的瞄域．出备|(【j襁电流的比值司确定f跫j。书堡融场≮自’j悯 一堡：．坠塑兰堂堂丝!!墨尘!兰兰L 一麟。姚什爷 15q 阳极分界线(忽略宽度 }j底 aJ器件结拇rj固 ¨阳极结构示意图 图l传感器结构ii意图 其中O区为无磁场作．·。时电子束到达阳极的墨域。吾阳极区域的间隔很小，便其对 备阳极区域电流比值的影r4≈可以忽略， 2．2磁场检溅的理论分析 在列任意j亨向的磁场：!．行检测的过程中，由阳圾电流确定电子束偏移、对磁场方向 的处理以及由电子束偏侈碑定磁场是榜心的问题。其中后者是检测三维磁场的关德．下 面分别加以论述。 2，2．i电子京在磁场作剧。的偏移 我们假定哩子束流密‘g是均匀分布的，用到 。 达阳极的电子束流中心坐fi0’(x，y)来描述电于 ＼ 束在磁场作用F的偏移riJ冒2所示j。该坐标 疹 可由各阳极区域的电流比值求出。 a]【卜 在～般的磁场范圈内+{500G)，到达阳撇 潞 的电子束斑有以下三种情，tj1)覆盖O区和另外 ≮ 一个外围阳极：2)只覆盖两个外围阳极：3j覆 野一 盖0区和另外两个外围阳桃，现以最复杂的