圆轮廓测量国际比对方法地研究.pdfVIP

圆轮廓测量国际比对方法的研究 谭久彬赵维谦金鹏 50fg) 哈尔檬1业，、学仪器仪表及搠5控技术系．咯尔滇．1 摘要 。缸曼分l_JT酗轮廓国际比对中存在的问题和名步法涅差分离技术的原 理谩差．存此基础上提出 种新的误等分离技术——鉴相法误著分离技术、该误差 分离拽术大j、扩展了无谐渡抑制范围，且使测量过程和测量系统大为简化，是进行 国际比对的神理想力法 关键词：误差分离技术 鉴相法 圆轮廓 国际比对 i 引言 随着现代工业强术．特别是j卫代国防工业技术的迅速发展．人们小断追求产品的高性能、 高质量．因而对测量仪器的依赖程爱越来越高，当然对测量仪器精度水平的要求也越来越高； 这为超精密测量技术’j仪器技术提供』7史为广阔的应用前景和发展空问，同时．也对其提出了 更为严峻的挑战。就州转体零件的精度要求而舌，存超精密加工和测量过程中，通常作为比对 来、此刻机转台和超桷密9：I试转F空气静J』二主轴在研磨后圆度免差都达到50rim量级；激光干涉 系统球面镜球度允差_．s 5nnl 钉‘器悸!导系统中的精密陀螺仪转i’每增加约2～3nm的圃度误差．便会引起转子在径向约(I 的偏心晃动，这将引起100m的射程误差和50m的轨道误差．……。所有这些技术指标都需绎 过精确的测量。但事实}，七述所刊精度指标都达到或高于目前最高圆度测量仪回转基准的精 壁水平t目前最高精度的鼠度仪嘲转基准的径E回转精度约为50rim～20nm)。 根据专家们的推测．20fK》年以后．随苷精密工程技术和尖端技术的迅速发展，圆度允差 勾50mm一一5nm的回转悔事ft-：t哥被广-泛僵用所以圆轮醉纳米精度测量问题和相应的仪器推广 虚用问题已成为制约科’#技术埕琵的关键囡幕之 2 国际比对存在的K题 运 问题已引起各技远国家的高度重桃．各国学首都t】c寸这一一问题展开r更深入的研究．，吲 ￡．欧种备邕¨、1991年争1996午连绩边{jj4次国寰标准级恻度和圆轮廓测量酬际比对。并 f等备虿亚洲、北美洲书技术发达陶家擎加的曼，、范围的豳家圃轮廓测量L-Ex4．同时重新对议 等分离矬术rEST)研。：给予j高睦币：}’u．以期进j#提商测最和比对精度。由此可r见，纳米 精度回转基准技术的研究不仅成为测量与仪器研究领域新的研究热点．而日已成为衡量 个州 家测量与仪器技术水平与科学技术水’卫的标准之‘ 圃轮廓纳米精度测量技术的核心是建芷起相应精度的仪器H转埋准，受目前加L精度水平 的制约．仪器州辑基准的原始精度一般R能达到约20rim七芊i的智剥极限水平，所以各国作为比 对嗣【jl转基准类仪器和超精测量仪器均采用了EST，氓总体卜召．仪器回转摹推的精度有f牧 穴改善．但并未达到人们所期单的效果，而且精度水平影年来有突破．其j．耍制约斟素集中存： 使于自动进行工乍冉勺传统的误差分离技术——“彰彬法”存舟谐波抑制问题。运种谐波抑制起 行合成的处理方式。具体表观为在合成信号中$e位次数的整数偕谐波被抑制， 一些学者的理论分析和96年欧洲五国臻j轮廓国阿．【匕对安验结果可充分汁明上述问题． 1996年参加比对的五个国家实验室分别为：荷兰国家实验室fNMi)、瑞J¨汁量协会 以外，其它实验室获得的分离后的圆轮廓在I(}的霍数倍1旨波成分I．部为零。这是因为这些实驰 ．土 等所做著名实骑已达到r25ran的分离精度．安际上Chctxwnd博上所做实验的实质矗!=用个{小 准球对一个回转基准的分离实验，这种实验曩能给H：分离实验的重复精度(晰F1重复。灾验误∈ 5rimJ，币 的峰一峰值应为5nm，因为Chetwvnd实验给出的足柑对塌小。：乘圆单边误差值为2 不能发观日j谐i支抑制引起的碌理误差： 消除圆轮廓比对精度的根本途径是消除或减小原理误差。消除或减小原朋设差百]肯阿种方 j℃．一种每于“误差凹避”方』弋：另一种基于“误差目．补”方式，奉更首先简要分析多步误差 分离技术的原理误