相变制泠复合镜研究X.pdfVIP

　第 12 卷　增刊 强 激 光 与 粒 子 束 . 12, . 0　 V o l N o s 　2000 年 11 月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S N ov. , 2000　 ( ) 文章编号: 1001- 4322 2000 s0- 0077- 03 相变制泠复合镜研究 张耀宁, 　彭玉峰, 　周次明, 　余文峰, 　程祖海 (武汉华中理工大学激光技术国家重点实验室, 武汉 430047) ( ) 　　摘　要: 　提出一种新的复合式腔镜结构, 利用硅镜 钼镜 和铜镜的优点, 避免它们的缺 点, 可以有效地减小热畸变。对钼、铜复合镜作了与硅镜的对比实验。实验结果表明钼、铜复合 镜的热畸变比硅镜的约小一半。 　　关键词: 　强激光; 反射镜; 热畸变 　　中图分类号: TN 248　　　　文献标识码:A [ 1 ] 　　硅镜就其综合性能而言, 在众多的反射镜基片材料中, 它的热变形小, 光学加工性能也好 。虽然铜 的导热率比硅高, 但硅的热膨胀系数小, 杨氏模量大。计算结果表明[ 2, 3 ] , 在吸收相同的激光功率情况下, 硅镜的热变形要小于通常的水冷铜镜。与此同时, 在硅镜上镀高反介质膜, 反射率已可达 99. 9% 。因此 硅镜在 10kW 以下高功率激光器及导光系统中作为全反射镜得到了广泛的应用。对于大于 10kW 的高 [ 4 ] 功率激光器, 它的热变形对激光光束质量的影响仍不可忽视 。特别是45 °刮刀镜, 由于反射膜的反射率 不如正入射反射镜, 热畸变更为严重。本文提出一种多层复合镜, 将铜的高导热率和硅的热膨胀系数小, 杨氏模量大的优点相结合, 从而解决高功率激光器反射镜的热畸变问题。 1　多层复合镜的结构和热变形理论模型 [ 5 ] 　　 . 在他的论文中 分析了激光作用下镜面的热变形。他认为热变形由两部分构成: Peter I 　　由热应力引起的轴向伸长 L R L 2 ( ) ( ) s ( ) ( ) = 1 + T - T dz - { T - T dz }rd r