双极场引晶体管IV.短沟道飘移扩散理论(双MOS栅纯基).pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ２ 犞狅犾．２９ 犖狅．２ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ２ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犉犲犫．２００８ 犜犺犲犅犻狅犾犪狉犉犻犲犾犱犈犳犳犲犮狋犜狉犪狀狊犻狊狋狅狉： 狆 犐犞．犛犺狅狉狋犆犺犪狀狀犲犾犇狉犻犳狋犇犻犳犳狌狊犻狅狀犆狌狉狉犲狀狋犜犺犲狅狉 狔  （ ） 犜狑狅犕犗犛犌犪狋犲狊狅狀犘狌狉犲犅犪狊犲 ， ，，， １ １２３ 犑犻犲犅犻狀犫犻狀 犪狀犱犛犪犺犆犺犻犺犜犪狀犵 （ ， ， ） １犘犲犽犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犅犲犻犻狀 １００８７１ 犆犺犻狀犪 犵 狔 犼犵　 （ ， ， ， ） ２犝狀犻狏犲狉狊犻狋狅犉犾狅狉犻犱犪 犌犪犻狀犲狊狏犻犾犾犲 犉犾狅狉犻犱犪 ３２６０５ 犝犛犃 狔 犳 　 （ ， ， ， ） ３犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅犛犮犻犲狀犮犲狊 犉狅狉犲犻狀犕犲犿犫犲狉 犅犲犻犻狀 １００８６４ 犆犺犻狀犪 狔 犳 犵 犼犵　 ： （ ） 犃犫狊狋狉犪犮狋 犜犺犻狊 犪犲狉 犻狏犲狊狋犺犲狊犺狅狉狋犮犺犪狀狀犲犾犪狀犪犾狋犻犮犪犾狋犺犲狅狉狅犳狋犺犲犫犻狅犾犪狉犳犻犲犾犱犲犳犳犲犮狋狋狉犪狀狊犻狊狋狅狉犅犻犉犈犜 狑犻狋犺狋犺犲犱狉犻犳狋 狆狆 犵 狔 狔 狆 犪狀犱犱犻犳犳狌狊犻狅狀犮狌狉狉犲狀狋狊狊犲犪狉犪狋犲犾犮狅犿 狌狋犲犱犻狀狋犺犲犪狀犪犾狋犻犮犪犾狋犺犲狅狉．犃狊犻狀狋犺犲犾犪狊狋犿狅狀狋犺 犪犲狉狑犺犻犮犺狉犲狉犲狊