多自由度超声电机振动频率的修正.pdfVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ３４ ６ Ｖｏｌ．３４Ｎｏ．６ 　 　 　 　 年 月 ２０１２ １２ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｄｅｃ．２０１２ 　 　 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１２０６０８７７０５ － － － 　　 多自由度超声电机振动频率的修正 ， ， ， ， 李小云 张小凤 郝君宇 宋智广 周 方 　 （ ， ） 陕西师范大学物理学与信息技术学院 陕西西安 ７１００６２ ： ， 摘 要 多自由度超声电机是将两种以上的超声振动模式按照一定的方式组合 通过在定子表面的椭圆运动 　　 　 。 ， 实现转子的多自由度转动 该文对纵弯复合模式圆柱形多自由度超声电机的振动特性进行了研究 该电机的定子 ： ； 由两组夹心式振子组成 一组夹心式压电片在电压激励时能在纵向产生较大的振动位移 另一组夹心式压电片由 ２ ， 。 ， 个纵向振动的压电片和 个铜电极组成 用于产生两个方向的弯曲振动 为了研究电机的工作特性 参照换能器 ４ ， ， ， 频率的计算方法 通过纵弯振动的波动方程推导了电机纵弯振动频率方程 考虑多自由度工作时 电机定子纵弯振 ， ， 、 ， 动的相互影响 对纵弯振动频率方程进行了修正 并将理论计算结果 数值仿真结果及实验测试结果进行了比较 证明了理论计算的正确性。 ： ； ； ； 关键词 多自由度超声电机 弯曲振动 纵向振动 频率方程 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３８４ Ａ 　　　 ＴｈｅＦｒｅ ｕｅｎｃ Ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎ ｏｆＶｉｂｒａｔｉｏｎｆｏｒＭｕｌｔｉＤＯＦＵｌｔｒａｓｏｎｉｃＭｏｔｏｒ 　 ｑ ｙ 　 　 　 　 － 　 　 　 ， ， ， ， ＬＩＸｉａｏ ｕｎ ＺＨＡＮＧＸｉａｏｆｅｎ ＨＡＯＪｕｎ ｕ ＳＯＮＧＺｈｉｕａｎ ＺＨＯＵＦａｎ 　 ｙ 　 ｇ