TFT 制程.ppt

TFT 製程 學生: M9630205 鄭雯軒 M9630209 何家獎 老師: 蔣富成 大綱 何謂TFT 薄膜電晶體歷史 TFT結構圖 低溫多晶矽TFT LCD之優勢 TFT-LCD面板製程 TFT製造流程概述 TFT的循環製程圖解 參考文獻 何謂TFT TFT 即是Thin-Film Transistor 的縮寫(薄膜電晶體)。 薄膜電晶體液晶顯示器中，所扮演的角色簡單說來即是畫素(Pixel)的開關 薄膜電晶體歷史 低溫多晶矽TFT LCD之優勢 ?TFT面積可以作的更小 ?高開口率,顯示亮度較高 ?較低功率消耗 ?較高顯示之解析度 ?驅動IC電路與其他電路可以整合在一起 ?結實並且更可靠 ?顯示面板輕且薄 ?受EMI干擾較少 TFT-LCD面板製程 主要可分為三階段： 1.Array或Panel製程：在玻璃基板上形成薄膜電晶體陣列。 2.Cell製程：將陣列面板與彩色濾光片貼合，並於其內灌入液晶。 3.Module製程：將貼合之面板、背光模組、驅動與控制面板組合 TFT製造流程概述 TFT的循環製程圖解 3 重複以上動作 結論 雖然TFT LCD技術越來越成熟但是因應高精細與高解析度化的需求，故仍然存再的一些技術上的問題。 像是掃描閘極的脈衝波所衍生初的變形現象，進而導致表示電極所讀寫的信號不完整性，因而其延著掃描電極部分出現濃淡不均的影像…等等的問題存在。除此之外為了因應尺寸大型化，其相關的製造技術、材料零件、以及裝置設備等，亦都將同時地列入考量的重要因素。 參考文獻 1.友達光電 : /auoDEV/technology.php?sec=tftProcessls=tc 2.奇美電子 : .tw/opencms/cmo/index.html?__locale=zh_TW 3. 平面面板顯示器基本概論 作者:顧鴻壽等合編 高立圖書 4. 液晶顯示器技術入門 作者:陳健銘 全華科技圖書 5. 平面顯示器的關鍵元件.材料技術 作者:趙中興 編譯 全華科技圖書 END Thank you * * 低溫多晶矽薄膜電晶體液晶顯示器 1996年 彩色型的非晶矽薄膜電晶體液晶顯示器 1990年 第一片非晶矽薄膜電晶體液晶顯示面板製作成功 1981年 第一顆非晶矽薄膜電晶體試做成功。 1979年 第一顆薄膜電晶體的誕生。 第一片薄膜電晶體液晶顯示面板。 採用的是硒化鎘(CdSe)薄膜 1949年 4~6 1.較少的光罩 6~8 1.低漏電流 2.有通道保護層 優點 5~7 光罩數 1.製程簡單 2.電特性穩定 α-Si TFT 結構 TFT結構圖 BOX 5道光罩 薄膜 黃光 蝕刻 素玻璃 TFT 基板 上光阻(coating) 鍍第一層膜 空白玻璃 光罩 對準,曝光(stepping) 顯影 液 顯影(developing) 蝕刻(etching) TFT的循環製程圖解 1 顯 影 去光 阻液 去光阻(striping) 鍍第二層膜 上光阻 對準,曝光 光罩 顯影 液 蝕刻 TFT的循環製程圖解 2 去光 阻液 光阻剝離 重複以上動作 *