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微小流量仪表性能及其应用 蔡武昌 (中国仪器仪表行业协会流量专业委员会，上海200233) 麓蔓：论述了国外市场若干品种型号微小流量仪表性能规格和应用．着重阐述现在应用增加较多的超 声式、热式和科里奥利式以及实验室专用的示踪式、翻斗容积式． 关键词：流量仪表微小流量超声式热式科里奥利式翻斗容积式 1概述 随着流程工业和公用事业为提高效率推向大型化规模生产，流量仪表也经历了一轮向 m)，与此同时精细化 大13径拓展(如电磁流量计口径已达3．4m，超声流量计应用大于5 工、生物医药工程、半导体制造业的兴起，也使流量测量向低端延伸，小流量、微小流量 的需求在上世纪80～90年代凸显起来：此外，实验室包括环保分析仪器配套的微小流量测 试和医疗保健微小流量监控也有相当需求的增加。 何谓小流量、微小流量?业界尚无公认定义和界限，因应用领域而异是一个模糊的概 念．管道小流量测量体现在流速低和管径小两个层次，就流程工业而言习惯称DNl0(也 有称DN6或D15)以下管径测量为小流量测量。从现在市场所见小流量仪表测量液体时流 量范围通常认为在lL／min或0．06m3／h以下，满度流量流速低于0．I毗；进一步细分为微 小流量则流量范围在10mr／rain以下． 小流量、微流量测量在流程制造工业首先发展于半导体制造业，解决其所需超净气体， 纯水，药液等的测量，其后用于精细化工、医药、生物工程等专业实验装置流量监控、定 量配比加液等场所。微小流量测量仪表具有以下一些特点：①仪表运行时常处于低雷诺数 区．使节流差压式、浮子式等仪表在仪表系数非“常量”区运行：在测量范围内流态处于 从层流专层流／紊流过渡专紊流问的转变，使传统结构设计的超声流量计系数变化过大II_J。 ②要用实际使用流体校准。液体流量仪表一般用水校准，气体用空气校准，若已知实际使 用流体与校准时的流体间某物性不同对示值是有规律变化的，在中大管径仪表常以适当系 数修正，但对某些小流量仪表受黏度等物性影响大，必须以实际使用流体校准。③大部分 微小流量仪表只适用于测量洁净流体，要防止仪表污染流体。有些测量介质是洁净气体和 纯水，还有接触流体的仪表零件材料不允许析出离子的要求，不能用金属或玻璃制成，只 能用塑料；流体中不容许混入活动件的磨耗尘埃；仪表通道要尽可能简单，不应有滞留部 位，以防滞留介质变质。④易受气泡或尘埃附着的影响。因管径小液体中微细气泡易在管 系流动中积聚变大，使测量指示不稳，准确度下降：流体中尘埃积聚附着测量元件或通道 也要影响测量值。⑤品种受到一定限制．在众多测量原理品种中，因不同原因在小流量应 用上受到一些限制，当前能应用于小流量测量的品种如表1所示． 下文列举在国际市场上见到若干代表性型号仪表的主要性能和应用，作扼要述评． 12 襄1微小流量蔫量仪表品种 _- 差压式 浮 容积式 叶 电 涡 超 不 流体 热 科里奥利 层流 孔板、 子 转轮、 轮 磁 街 声 踪 种类 翻斗式 式 质量式 件 喷嘴 式 活塞式 式 式 式 式 式 液体 √ √ 、， 、， √ 、， 、， √ √ 、， 、， 气体 √ 、， 、， √ √ √(中、高压) 2代表性品种型号 市场上已投入多种型号微小流量仪表，表2汇集21种代表性型号仪表的流量范围、准 确度、工况条件、特征等性能和生产企业，图1是各型号最小规格的流量范围以资比较， 其线号即表2中序号。