微型薄膜电阻传感器与应用及其动态温度测试方法.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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微型薄膜电阻传感器与应用及其动态温度测试方法.pdf

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微型薄膜电阻传感器的应用及其动态温度的测试方法贾丹平伞宏力林应文沈阳工业大学，辽宁沈阳110870 摘要：基于薄膜电阻的快速响应优势及测试上的难题，着重进行了两方面的分析研究：一是采用薄膜电阻作为电流传感器，应用在高压直流互感器上，对薄膜电阻的结构、性能进行了分析与仿真；二是采用间接测温法实现对薄膜电阻温度动态特性测试，解决了当前快速测温的难题。采用多指数谱分析法分析薄膜电阻温度动态特性曲线，用谱特性描述薄膜电阻微细结构的热特征，并从综合的测试结果中，分离出更多微细结构的测试信息，以指导薄膜电阻结构的改进。关键词：薄膜电阻；温度；动态特性；谱特性．的应用，二呵疋7了血§Ⅲ E与散热基下境温度{}l 呈的建立 }舟士碉 C l升温速度为如．，则测温仪器之器目前很难剞摹膜电阻村；上可得升丁求出曲线夕（尼）=乏扛均为复数，包含j f曰：／4．e）尿≯”I叫。对薄膜电阻实骁阻工作过程的乡膜电阻的懊谏昨