等离子体显示器中MgO介质保护膜结构与放电性能研究.pdfVIP

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2017-08-09 发布于安徽
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等离子体显示器中MgO介质保护膜结构与放电性能研究.pdf

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V01．25 第25卷增刊北京理工大学学报 Suppl． Institute 2005年9月Transactions Sep．2005 ofBeijingofTechnology 文章编号：1001—0645(2005)增刊-247-04 等离子体显示器中MgO介质保护膜结构和放电性能研究夏星，范玉锋，郭滨刚，刘纯亮 (西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室，陕两，西安 710049) 摘要：为了研究等离子体显示器(PDP)dPMgO介质保护膜的结构及其放电特性，通过电予束蒸发沉积，在不同的基板温度和沉积速率下获得MgO介质保护膜，并利用x射线衍射分析及放电试验对其进行了研究．试验结 V；而在其它的基板温度和衍射峰的晶面间距变化很小，衍射峰强度较高，同时町获得最低的着火电骶一132．2 1)的晶面间距有1％以一k的收缩，相应的衍射峰强度也低，而着火电沉积速率下的MgO薄膜发生晶格畸变，(11 压均高于140 v．另外，较高的基板温度和沉积速率易导致MgO薄膜的晶格I畸变．关键词：等离子体显示器；电子束蒸发；晶格畸变；着火电压中图分类号：O484 文献标识码：A of Films onStructureand Characteristics Study Discharge MgO in Panel Plasma Display XIA Chun-liang Bin-gang，LIU Xing，FANYU—feng，GUO for ElectronicsandDevices University,Xi’an， Jiaotong Laboratory MinistryofEducation，Xi’an (Key Physical } 71 Shaanxi 0049，China) dielectric in Abstract：The by films，used displaypanel(PDP)andgrown MgO protective plasma