蒙特卡罗模拟在辉光放电鞘层离子输运研究中的应用.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ( % !##% % ， ， ， I56 )( H5 )% AJ816 !##% （ ） ###3!$#@!##%@( #% @ ’3#; ABCA D,EFGBA FGHGBA !!##% BK1: ) DKL2 ) F5? ) 蒙特卡罗模拟在辉光放电鞘层离子 输运研究中的应用! 王建华 金传恩 （合肥工业大学理学院，合肥 !###$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） !## % !## ’ !( 利用蒙特卡罗方法模拟氩气直流辉光放电鞘层内离子的运动过程 模拟基于离子与中性原子的电荷转移和弹 ) 性散射两种主要的散射过程，考虑了碰撞截面与能量相关和不相关两种情况，在弹性散射中采用了势场相互作用 模型和刚性球碰撞两种模型) 通过模拟得到不同气压和不同放电电压下离子入射阴极的能量分布和角度分布，并 对几种模型的模拟结果进行了比较和讨论) 关键词：辉光放电，等离子体鞘层，蒙特卡罗模拟 ： ， !## (!!(* (!+#, 本文基于离子与中性原子发生电荷转移碰撞和 - 引 言 弹性散射两种主要的碰撞过程，考虑碰撞截面与能 量相关和不相关两种情况，对平板氩气直流辉光放 近年来，等离子体化学汽相淀积和等离子体刻 电鞘层中的离子进行了蒙特卡罗模拟，得到了不同 蚀等辉光放电等离子体技术在微电子工艺中的应用 放电参数下离子的能量和角度分布) 在讨论弹性散 越来越广泛) 辉光放电的阴极位降区即等离子体鞘 射时采用了势场相互作用（ 势形式）和刚性球 456178 层是维持放电必不可少的区域，同时由于该区基本 碰撞两种模型，并对几种模型所得到的结果进行了 上集中了两极间的全部电位降，离子在其中受到强 比较和讨论) 电场的加速而飞向阴极并与阴极碰撞，因而离子在 等离子体鞘层中的输运特性在低温等离子体的应用 ! - 模拟基础 中起着关键的作用) 鞘层中离子输运特性的研究基本上采用两种方 我们所考虑的是低压、常温、弱电离的氩气平板 直流辉光放电，如图 所示，取垂直阴极并指向阴极 法：一种是以求解玻尔兹曼方程为主的解析方法，如 ［］ 文献［，］利用 模型通过求解阴极位降区的 的方向为! 轴的正方向，原点取在负辉光区和鞘层 ! ./012 玻尔兹曼方程，得到了离子轰击阴极的能量分布；另 边界，鞘层区的电