太阳电池用高纯氮化硅粉及研究应用与探讨.pdfVIP

第第 14 届中国光伏大会（届中国光伏大会 （CPVC14 ）论文集）论文集 第第 届中国光伏大会届中国光伏大会 （（ ））论文集论文集 太阳电池用高纯氮化硅粉的研究与应用探讨太阳电池用高纯氮化硅粉的研究与应用探讨 太阳电池用高纯氮化硅粉的研究与应用探讨太阳电池用高纯氮化硅粉的研究与应用探讨 林安中 （北京中联阳光科技有限公司） 摘摘 要：要：采用的是通用的硅粉氮化法来生产光伏级氮化硅粉，其核心的技术是要得到高 摘摘 要要：： 纯的氮化硅粉，其中关键的纯度指标是铁含量达到 8ppmw。对氮化硅粉在多晶硅铸锭 的坩埚涂层应用方面进行了探讨。 关键词：氮化硅粉；太阳电池；高纯；多晶硅铸锭；石英坩埚关键词 关键词关键词 1 引言引言 用的是最通用的硅粉氮化法，是将微米级 引言引言 多晶硅太阳电池目前占太阳电池的 细度的硅粉放入氮化炉中在温度为 份额约 50%，为主流的低成本太阳电池生 1100～1400℃的区间进行氮化，然后将所 产品种，其主要是采用单向凝固法来进行 得的氮化硅料进行细化到 1µm 的数量级。 铸锭，是使用方型的陶瓷石英坩埚在其内 其核心的技术关鍵是要得到高纯的氮化 [1] 表面涂上一层氮化硅粉来作为脱模剂 ， 硅粉，目前关键的指标是铁含量要达到 所用氮化硅粉的质量对多晶硅片的质量 ≦10ppmw, 由于在铸锭过程中氮化硅粉 及硅锭的防粘性会产生一定的影响，此材 是很少量的溶入硅液中，从理论上也是氮 料过去多年主要是使用进口的产品，为了 化硅粉越纯越好，特别是铸锭中的少子寿 进一步降低中国太阳电池的成本，应在每 命要求越来越高时。 一个工艺的细节上都要降低成本才能最 3 研制结果研制结果 研制结果研制结果 后与常规能源进行有力的竟争，对此材料 目前所研制出光伏级氮化硅粉的典 的国产化也是一个重要的环节，目前国内 型性能如下： 有的产品也已有很大的进步，为了达到国 α 相含量≧90%，Fe 含量≦10ppmw, 际的水平，仍要多家国内氮化硅粉生产单 Ca 含量＜5ppmw, Cu 含量＜5ppmw, Cr 位进行共同的努力。 含量＜5ppmw, Al 含量＜5ppmw, O 含量＜ 2 工艺方法工艺方法 1%，C 含量＜0.5%，N 含量＞38.5%, 游 工艺方法工艺方法 目前光伏级氮化硅粉的主要生产方 离 Si＜0.15%，D50 ≦1µm, 颜色为淡黄白 法，一个是硅粉氮化法，是采用细硅粉在 色。 高温下进行氮化来形成氮化硅粉，另一种 光伏级的氮化硅粉比常规陶瓷级的 方法是使用四氯化硅氨解法，还有就是使 高纯氮化硅粉对纯度的要求还要高，因而 用等离子体反应法来进行生产。此论文采 在工艺制作的每一道工序都要求尽量减 148 第第 14 届中国光伏大会（届中国光伏大会 （CPVC14 ）论文集