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第5章 电容式传感器 传感器原理及工程应用 1、电容式传感器的工作原理是什么，电容式传感器分为几种，有何特点？ 2、变极距型、变面积型、变介质型电容式传感器工作原理是什么，有何特点 ？ 3、什么是电容式传感器的灵敏度及非线性？ 4、电容式传感器测量电路有几种，有何特点？ 5、电容式传感器主要应用在哪些方面，如何分析？ 本节主要内容与问题 5.1 电容式传感器的工作原理和结构 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，其电容量为 第5章 电容式传感器 电容式传感器分为变极距、变面积和变介质三种类型。 传感器的εr和S为常数,初始极距为d0时, C0为 5.1.1 变极距型电容传感器 图为变极距型电容式传感器的原理图。 d er 极板间距离由d0缩小Δd,电容量增大ΔC,则有 在d0小时,同样的Δd变化引起的ΔC大,传感器灵敏度高。 采用高介电常数的材料时C为 dg e0 eg d0 云母片相对介电常数是空气7倍,击穿电压为空气的333倍。且(dg/ε0εg)恒定, 使传感器输出特性的线性度改善 变极距电容式传感器起始电容在 20～100pF, 极距在25～200μm, 最大位移应小于间距的1/10,用于微位移测量。 传感器输出特性C=f(d)不是线性关系,而是双曲线关系。 变极距电容传感器只在Δd/d0很小时,才有近似线性输出 x b a Dx d S 变面积型电容传感器原理结构示意图。 5.1.2 变面积型电容式传感器 ΔC与Δx是线性关系 q 电容式角位移传感器原理图. ΔC与θ呈线性关系。 当θ=0时:C0=ε0εrpr2/2d 左图是一种测量液位高低的变极板间介质的电容式传感器结构原理图 5.1.3 变介质型电容式传感器 变换器的电容增量正比于被测液位高度h。 变介质型电容传感器可测厚度,也可测非导电固体湿度 若电介质εr1=1,当L=0时,传感器初始电容C0=ε0L0b0/d0 图示一种常用的结构型式。相对介电常数为εr2的电介质 电容的变化与电介质εr2的移动量L呈线性关系。 介质进入极间L传感器电容 电容的相对变化为 只讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性 当 时，得 5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 电容的相对变化量为 ΔC/C与输入位移Δd之间呈非线性关系。 电容传感器的灵敏度为 单位输入位移引起输出电容相对变化大小与d0呈反比关系 因Δd/d01时，可得到近似的线性 如果考虑线性项与二次项, 则 传感器的相对非线性误差δ为 减小d0,可提高灵敏度;但非线性误差却随着d0的减小而增大。 为了提高灵敏度,减小非线性误差,常采用差动式结构 图是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。 因Δd/d01时, 则按级数展开: 在差动式平板电容器中,当动极板位移Δd时, C1的间隙d1变为d0-Δd, C2的间隙d2变为d0+Δd, 电容值总的变化量为 电容值相对变化量为 电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 差动式电容传感器灵敏度提高一倍,非线性误差大大降低 灵敏度近似为 测量电路检出微小电容增量, 并转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。 5.3 电容式传感器的测量电路 电容转换电路有调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路一部分 5.3.1 调频测量电路 输入量导致电容量变化时, 振荡器的振荡频率发生变化。 频率可作为测量系统的输出量,判断被测非电量的大小。 系统是非线性的,不易校正,加入鉴频器,将频率的变化转换为振幅的变化,经过放大用仪器指示或记录仪记录。 C=C1+C2+C0±ΔC 调频测量电路原理框图如图 图中调频振荡器振荡频率为 当被测信号为0时,ΔC =0,则C =C1+C2+C0,所以振荡器有一个固有频率f0, 当被测信号不为0时,ΔC≠0,振荡器频率相应变化,频率为 较高灵敏度,可测至0.01μm级位移。易于用数字仪器测量和与计算机通讯,抗干扰能力强,可发、收实现遥测遥控。 运算放大器的放大倍数K非常大, 而且输入阻抗Zi很高。 5.3.2 运算放大器式电路 电容式传感器理想测量电路 运算放大器式电路原理图。 由运算放大器工作原理可得 若传感器是一只平板电容,则Cx =εS/d,有 式中“-”号表示输出电压 的相位与电源电压反相。 运算放大器的输出电压与极板间距离 d 呈线性关系。解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题。 要求Zi及K足够大。电源电压U1幅值和固定电容C值稳定。 图a是二极管双T型交流电桥电路原理图。 5.3.3 二极管双T型交流电桥 C1、C2为传感器的两个差动电容。当传感器没有输入时,C1 = C2。