5529_激光干涉仪使用手册.pdf

Agilent5529 激光干涉仪使用 激光干涉仪使用手册 目 录 第一单元 激光干涉仪的应用 第一节 激光干涉仪的光路 第二节 激光干涉仪的基本使用方法 第二单元 FANUC 0iMC 系统有关螺距误差补偿的参数 第一节 数控系统的相关操作画面提示 第二节 与数控机床轴限位相关的参数的应用 第三节 与螺距误差补偿相关的参数的应用 第三单元 检测机床螺距误差的运行程序 第一节 检测加工中心 X 轴螺距误差的运行程序 第二节 检测加工中心 Y 轴螺距误差的运行程序 第三节 检测加工中心 Z 轴螺距误差的运行程序 第四节 机床预热程序 第五节 测得反向间隙的运行程序 第六节 二次检测的机床运行程序 第四单元 Agilent5529 激光干涉仪测量零部件的组装及运用 第一节 Agilent5529 激光干涉仪测量零部件介绍 第二节 Agilent5529 激光干涉仪测量零部件的组装 第三节 干涉镜和反射镜的组装及光束的调节方法 第五单元 Agilent5529/5530 检测软件的应用 第一节 Agilent5529/5530 检测软件的界面介绍 第二节 Agilent5529/5530 检测软件的案例 第六单元 VMC650 加工中心螺距误差补偿案例 1 Agilent5529 激光干涉仪使用 第一单元 激光干涉仪的应用 提示：因 Agilent5529/5530 激光干涉仪为双频检测，所以本单元节重点介绍双 频检测的原理 1.什么是激光干涉仪？ 激光干涉仪(laser interferometer) 以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光 干涉仪有单频的和双频的两种。 激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前 常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源， 构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线 性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密 工具机或测量仪器的校正工作。 2.什么是干涉？ 干涉(interference)为两波重叠时组成新合成波的现象。 波的重叠原理 两波在同一介质中传播，相向行进而重叠时，重叠范围内介质 的质点同时受到两个波的作用。若波的振幅不大，此时重叠范围内介质质点的振动 位移等于各别波动所造成位移的矢量和，称为波的重叠原理 。 3.螺距误差是怎样产生的,为什么要进行螺距误差补偿? 数控机床的螺距误差产生原因如下： ①滚珠丝杠副处在进给系统传动链的末级。由于丝杠和螺母存在各种误差，如螺距累积 误差、螺纹滚道型面误差、直径尺寸误差等，其中最主要的是丝杠的螺距累积误差造成 的机床目标值偏差； ②滚珠丝杠的装配过程中，由于采用了双支撑结构，使丝杠轴向拉长，造成丝杠螺距误 差增加，产生机床目标值偏差； ③机床装配过程中，由于丝杠轴线与机床导轨平行度的误差引起的机床目标值偏差。 螺距误差补偿是将机床实际移动的距离与指令移动的距离之差，通过调整数控系统的参数 增减指令值的脉冲数，实现机床实际移动距离与指令值相接近，以提高机床的定位精度。 螺距误差补偿只对机床补偿段起作用，在数控系统允许的范围内补偿将起到补偿作用。定 点型双向螺距误差补偿法的原理采用定点的脉冲补偿方法可修正螺距误差，提高定位精 2 Agilent5529 激光干涉仪使用 度。其原理是在各坐标轴上设定一些坐标点，当机床经这些点时，数控系统根据事先测定 的补偿值进行补偿。