干涉显微镜标准装置开展表面粗糙量值传递的不确定度.pdfVIP

干涉显徽镜标准装置开展 表面粗糙度量值传递的不确定度 张海燕 黄健 午回空气劫力讲咒与麦晨甲。甘量两试站 1_噶啦。皓3 摘要式它_证群二尊曼静静括穗鬟量用干并氍衰面翘毽庄t值+帐二咋时静不蒲定宦奇t、自由度盎f}。析轺计算，爿砷皇；滞疑{t谛 标准蹙量莳台或荐檀十■定襄玎Rl显J十确志崖，鼻可稀准甍量酌量，伍相髋佳赶。椎．弘茸t诗左童蛙竹垃吐。 关键词≠滞昱柑、并重耀培彦、i磕言r、t聍牟斯．!营日毫 l引言 干涉显微镜标准装置包括干涉显擞镜簿准计量仪器和～一组单划样抒准比较祥捱，用于量 俦粳链度参数时、l}z，其范匿为(0．05～0．8)m。遵照国家计量控定季绩UJG2018—39《表 面粗糙囊计量器具》开展粗糙雯的量值传递工傩． 根据Tm1993㈣KGui出tothe of Fmr≈sign 表述的计量标准不确定度的概念和舒析方法．通过对干涉显擞镜标准装置的不确定度哥量． 目由度进行分析祁计茸。以确定干涉显徽键砾准装置的台戚标准不确定腰和扩展(兽；不碹《 度，进行严格的验让．保让量值传递的准确佳干Ⅱ统一性，使干涉显微镜标准装置校准实验室 出县的较准证书、柱定结果等技术文件具有0正性。 2不确定度分量的分析与计茸 JA型双光束干涉显馓饶，由干涉和显微系统组成，以光波干涉原理为基础．用光波波 长来测量投测表面微小雌昝的距离．从而哿列被测表面的褪橙度数值，用单劐线样板进行量 传可测最小深度主要由仪器分辨率和十字线的瞄准精度决定，可测最太深度主要取决于白光 的干涉能力．对稠量不确定度的贡献量主要睾源是：捡宅于涉星徽镜的标准鳙刘鳗样板不确 定露．幂樾镜舟裤艉力．瞄准误羊．i呷I擞目镜示侑误葶．揣摩。屏哮弓}担单制鳎弯化带来荫 误差等．因湿度，湿度影响较小可忽略不计。下面对为总不确定度作委献的各不确定度抒量 进行分析。 257 2．1标准革刻线样板的不确定度分量 干涉显徼镜标准器具在进行重值传递时，采用名义尺寸为0．1耻m、(1．7“m一组单刻线 标准样板。根据量值的搠挥性，该组单劐样顿经由上一级法定计差技术部门中国计量厕铽技 术研究院【以r简称中测院J检定．按JJ62015—89的《表面粗糙度计量器具》柱定系统框图 给出标准单刻线样板的检定值和不确定度值盘}J酣表l所示。 2．2横向分辨误差的不确定度音量 显擞镜中压线描准与样板刻线表面像和干涉显擞镜的横向分辨能力有关，因而存在误差 由它带来个不可测值。根据显徽镜成壤理论，在显微镜中能够观察分辨出的横向两点和两 线的最小距商t，取决于物馕数值孔径№和波长i，即： 式中’I=0．55“mHA=O．65 讨一待翻样板，其加工纹路咎底圆甄半弪为r．宴际槽深为H0，稠得槽深为H，则不可潮 俺为： Ah=r一1／豁(牡r2一t2)I／：Z—t2，8末r一 (2) 蟑顶处同谷底也存在同样情况．则藏误差为 d；2掌凸h；ff t船rJ；0．U0蛳m一 t3J 横向分辨误差引起的不确定霞丹量为 (4) r一5pⅢ；L一0．42 则112=0．00孙Ⅲ 2．3瞄准误差的不确定度好量 干渗显擞镜嬲表面轮廓峰由式Y；(3／b)瓤培出最终测置结果值，则入射光波长^的变 化直接影响测量结果，所采用照明：七摁光波的半宽度!吏其干涉象纹产生宽度花围，给测量结 果带来瞄准误差，谤瞄准谩差的不确定变分量为： U3=1／6末(a／b)％△^……． 式中：△i——渡长半宽度 △五；0．01“m 各标准单刻样板瞄准误差的小确定度舒量计算结果如附表2所不。 2．4弼微目镜示值误差的不确定度丹量 JJG77—83干涉显微镜检定规程中规定了i耐截目镜鼓辖任意一周内误差不能超过B=豇m 全程内凝差不超i血=1妇m，由于物镜实际放大倍率的影响，