基于生物刻蚀原理制作微小齿轮结构_刘玉德.pdfVIP

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2015-08-07 发布于安徽
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基于生物刻蚀原理制作微小齿轮结构_刘玉德.pdf

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23 5 () Vol. 23 No. 5 2005 9 Journal of Beijing Technology and Business University( Natural Science dition) Sep. 2005 21 　　: 1671-1513(2005) 05-0021-03 1 2 2 2 2 刘玉德 ,　王西彬 ,　蒋　放 ,　龙震海 ,　周耀华 ( 1. 北京工商大学机械自动化学院, 北京　100037; 2. 北京理工大学机械与车辆工程学院, 北京　100081) 　: 生物刻蚀是从生物学的角度研究加工制造的法.采用氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂, 刻蚀铜及铜合金材料的基片表面,获得微小齿轮结构,并对细菌的生长环境进行了分析研究. : 光刻; 氧化亚铁硫杆菌; 生物刻蚀 : TN305. 7　　　　　: A 　　, , 、、, . 、、. , 1　 ,, 、,., , ( . 、、、). , 、, . ,、 . , , ( Thiobacillusf er 、、. rooxidans, T. f) , , , , ,. , ,, ,, , . . CO2 , ,. ., ,, ,, , [4] ( Thiobacillusf errooxidans, T. f) T-9, , 1: , , [ 1- 3] 2+ . , Fe , : 2005 01 09 : ( BZJ050702) : ( 1963- ) ,,,,. ( 1958- ) ,, ,,,、. 22 () 2005 9　