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金属学与金属工艺

2010年06月 第3期 金刚石与磨料磨具工程 June 2Ol0 第30卷 总第 177期 Diamond& AbrasivesEngineering No.3 Vo1.30 Serial177 文章编号:1006—852X(2010l03一OO60—05 基础液对磁流变效应微砂轮微沟槽加工的影响 张鹏程 阎秋生 路家斌 (广东工业大学机电工程学院,广州510006) 摘要 在磁流变液中添加金刚石磨料配置成抛光用磁流变工作液,对玻璃工件进行微沟槽加工试验。 以磁流变工作液的剪切应力以及所加工的微沟槽形貌为分析评价指标,系统研究了基础液的种类 (硅 油、蓖麻油、液体石蜡、水)、黏度、含量对磁流变微沟槽加工的影响。结果表明,基础液对磁流变效应微 砂轮的加工效果具有决定性的影响,以硅油作为基础液具有较好的去除率和加工精度;加工精度随着基 础液粘度的增大而提高;基础液的含量有一个最佳值,当硅油的含量为59.3%时,磁流变效应微砂轮的 材料去除率达到最大。 关键词 磁流变效应微砂轮;基础液;微沟槽加工 中图分类号 TH161;TQ164 文献标识码 A DOI编码 10.3969/j.issn.1006—852X.2010.03.013 Influenceofcarrierfluidonmachinhlgeffect ofmagnetorheologicalfluidtinywheel ZhangPengcheng YanQiusheng LuJiabin (SchoolofElectromechanicalEngineering,GuangdongUniversity ofTechnology,Guangzhou510006,China) Abst:ract Theauthorsstudied theinfluenceofmaterialnature,viscosity and contentofcarrierfluid on machiningeffectofmagnetorheologicalfluid (MRF)wheelwhenmachiningglassworkpiece.,rheresults indicatedthatthematerialnatureofcarrierfluidhasacrucialinfluence.Siliconoilasacarrierfluidhasthe bestmaterialremovalrateandmachiningprecision;themachiningprecision increaseswith hteincreaseof viscosityofthecarrierfluid;thereexistsanoptimum valueofthecontentofcarrierfluid.Whenthecontentof siliconoilis59.3% .thebestmaterialremoval ratecanbeobtained. Keywords magnetorheologicaleffecttinyabrasivewheel;carrierfluid;microslotmachining 学科之一…。微细加工技术是制作微机械或微电机系 O 引言 统构件的支撑技术,微机械的实用化需要微细加工技 近年来,微机械和微电机系统 (MEMS)技术已经 术的进步,但是对于高硬度、高脆性、高熔点硬脆材料 广泛应用于医疗、生物工程、信息、航空航天等领域,给 的微细加工,目前热加工和化学加工方法存在加工效 国民经济和军事国防的发展带来了

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