飞秒激光微构造硅表面形貌对其广谱吸收性能影响初探.pdfVIP

飞秒激光微构造硅表面形貌对其广谱吸收性能的 影响初探 廖承菌1 2杨培志’¨ 2唐润生1李学铭1 可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室，云南昆明6500921 (2云南师范大学太阳能研究所，西南昆明650092) 擅薹：基于飞秒激光微构造硅的表面形貌特征，建立了相应的单色光能量传输的数学模型，咀此为基 础，并结合飞秒激光微构造硅袁面结构及光谱吸收特征，建立了飞秒激光微构造硅太阳反射率的计算方 法：依所建立的数学模型，研宄了尖峰底面半径r，尖峰高度h对光能传m及太阳反射率的影响。理论和 实际对比表明：微构造硅表面吸收曲线的理论模拟结果与实铡结果较为吻合。 关键词：黑硅：b秒激光：广谱吸收；辐射传输 1引言 为提高晶硅电池的转换效率及降低成本，各国科学家做了不懈的努力，井进行了如硅表面织构化工 艺的创新等。1997年，啥佛大学Mazur教授研充蛆在飞秒激光与物质相互作用研究的过程中，芨现利用飞 秒激光在一定气体环境下照射硅片可在硅片表面光辐照区产生微米级的尖峰结构”J。初步研究表明这种经 过表面微构造的硅材料具有奇特的光电性质．对250nm～2500nm波长的光几乎伞部吸收，甚至对1500 ㈩16000 的红外光辐射吸收率也不低于80％““。Yo皿kin等发现在sR和c】2中形成的黑硅．其表面 形状基本一致．但对红外光的吸收则有明显盖别，说明黑硅对红外光的高吸收不能仅仅通过对光的多次 吸收达到【4】。赵利认为只有在增加吸收次数的同时在硅禁带引入吸收能级，才能增加硅对红外光的吸收口I。 Sarnet等人利用Comprter-Generated 黑硅材料的强减反、广谱吸收与表面微纳结构间的关系是揭小和了解黑石丰特点段其本质的关键所在”J。为 弄清黑硅表面微纳结构对广谱吸收机理的贡献，本文针对350nm～2500nm波段，采用硅材料的一次反射 率实测曲线，以尖峰结构的纵横比为模型基本参数，利用辐射换热理论对“黑硅”材料广谱吸收机理进行 了初步研究。 2模型的建立 图1为飞秒激光构造硅表面显微形貌。构造硅的表面呈尖峰状结构准规则排列，每个硅尖近似球状。 图I扫描电镜(SEM)T观察到的“g硅”单点样Bm of“blKksilicon” FigISEM町珀#5showing“sl口出point—ple 陈晓、赵利采用飞秒激光辐照硅表面发现，单点样品中每个失峰顶端都有直径约为lOOOnm的小球， 而较大面积样品中观察不到该小球…。周此，将表面尖峰结构看作是规则排的圆锥体更为恰当，如图3 所示。 目3ⅨⅢW％目 3Venlcalviewofmo] Fig 由图2可见，考虑光线垂直^射到微构造硅表面，人部分光线将在若干个尖峰组成的结构中经多次 反射被吸收。然而，第一，由于结构复杂，入射光线的传播路径很难确定：第二．T尖蜂结构表嘶本身并 不光滑，不能对入射光形成镜面反射，第三，光线还会在尖峰结构中发生衍射。凶此，基于规则排列的 圆锥横型，为使模型既能客观反映尖峰表面的非光滑性．义简化入射光线传播路径的不确定性和衍射问 题给计算带来的复杂性，我们假定微构造硅各向同性且视为囊体，以便采用辐射换热理论计算。 由于光辐射币】热辐射的几何性质完全相同．角系数适用于光学计算，因此，通过计算模型内表面对 顶面的角系数，间接计算出反射率。反射率数学表达式如下： 口，f。)=里!’笪t!，：：里!望：￡!r ‘。7 A．+他 其中， p(il一光滑面对应波长的反射率： F． 面对面的角系数： A：一投影面税； p’机)一微构面对应渡长的综合反射率。 3模型求解 利用周线积分法计算有限面间的角系数，即基于角系数的概念，通过斯托克斯公式，把一个对面积