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深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd ESD 管理体系的关键性因素 前 言 Ted Dangelmayer 在ESD业界是著名的专家,享有极高的声望,他曾经担任朗讯全球ESD实验 室的主席,国际ESD联合会主席,美国静电放电协会(ESDA)标准委员会主席、ESD/EOS学会主席。 他所领导的Lucent Technologies North Andover, MA,是全球第一个拿到ESD S20.20认证的公司。 他所著的《ESD体系管理》在业界曾引起了强烈的反响,也广泛为欧美各国电子企业的ESD体系建 立所遵循。本文是该书的浓缩,也是作者大量实践经验的一个总结。文章没有精彩的语句,但不 乏精彩的思想。今天借助《电子制程方案》将这篇文章介绍给国内的ESD工作者,是希望它能够为 国内电子企业的ESD体系建设指明方向,也希望它能为ESD实践工作提供理论上的依据和支持,更 希望它能够推动国内ESD技术的普及和发展。 时间仓促,译者水平有限,文中难免有错误之处,敬请读者谅解和指正。 ——建立一个成功的 ESD 管理体系是减少敏感器件 ESD 损伤的关键 静电放电(Electrostatic discharge ESD )会对微电子器件以及包含这些器件的电子产品的制 造过程和工作运行造成严重的损伤。电子器件的微小化、操作系统的高速度以及工厂自动化技术 的使用使得ESD 控制体系成为 ESD 敏感器件质量控制和可靠性保障的重要因素。 一个成功的 ESD 体系的建立、实施及管理必须全方位系统性考虑问题,它包括从产品设计到 产品被客户接受的整个过程。而且体系必须进行很好地管理,并使之融入到制造过程的每一个环 节,以求最终的成功。事实上,一个管理很好的体系比单靠硬件投入要有效得多。本文所说的 12 项关键性因素构成了成功的 ESD 管理的基础。 其中前四项因素说明了良好的组织和授权对于体系建立和实施的初期阶段以及长时间运行和 改善阶段的重要性。这些因素包括:文件化的执行计划,管理授权,稳定的项目负责人(process owner ),以及积极的领导团队。 接下来的五项因素阐述了项目负责人的基础工具:务实原则,培训体系,审核体系,检测实 验室,以及有效的外部沟通。而最后的三个因素:系统计划,人性化解决问题以及持续改进—— 则是帮助体系有效运行的重要管理原则。 ESD 项目负责人必须了解 12 项关键性因素,并懂得其的意思所在。一旦遇到包含敏感器件的 产品及生产线时,这些因素应得到遵循和实践。遵循这些因素能够产生成本效益和持续性成功的 效果。 本文是 12 个关键性因素的基本介绍,我们在这里强调它们,是希望它们可以像座右铭一样被 牢牢记住。虽然在本文某些因素只是简单地介绍,但它们每一项都是非常重要的。对它们全面核 详细的讨论,可参考《ESD 体系管理》一书。 因素一:有效的实施计划 1 地址:深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编:518040 E-mail: hnfw@ 电话:+86-755传真:+86-755 深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd ESD 体系的成功依赖它的执行情况,缺少有效的实施计划,即使是最完美的体系也

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