磁控溅射镍膜催化生长石墨烯及迁移表征.pdfVIP

下载本文档

14
0
约3.66千字
约 3页
2015-08-15 发布于未知
举报
版权申诉

磁控溅射镍膜催化生长石墨烯及迁移表征.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

材料导报

·94 · 材料导报 2010年 5月第 24卷专辑 15 磁控溅射镍膜催化生长石墨烯及迁移表征牛亮。，张国玉，刘立伟 (1 长春理工大学光电工程学院，长春 130022；2 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，苏州 215125) 摘要在Si／SiO 衬底上将磁控溅射镍膜作为催化剂，利用化学气相沉积制备了大面积连续的石墨烯薄膜，得到的石墨烯为 1～15层。将石墨烯薄膜迁移到玻璃衬底和Si／SiO 衬底上，测量了薄膜的可见光透过率和薄膜电阻，并讨论了石墨烯作为透明导电电极在光电器件上的应用。，关键词磁控溅射石墨烯化学气相沉积镍催化剂。 CatalyticGrowth0nNickelFilmsbyM agnetronSputtering，Transferringand ．‘ ， Characterizati0n0fGraphene ：、’ 一 NIU Liang一，ZHANG Guoyu1，LIU Liwei · (1 DepartmentofOpto-ElectronicEngineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changehun130022； 2 SuzhouInstituteofNano-techandNano—bionics，ChineseAcademyofSciences，Suzhou215125) Abstract OntheSi／SiOzsubstrate，largeareaandcontinuousgraphenefilmsarepreparedbychemicalvapor depositionmethod，usingnickelfilm bymagnetronsputteringascatalyst．Thelayernumbersofgraphenerangefrom 1 t015．BytransferringthesegraphenefilmstoglassandSi／SiOzsubstrates．Thetransmittanceandsheetresistanceare ￡j ∞ 口 T_ measured．Inaddition，theapplicationofgrapheneastransparentconductiveelectrodeinopto-electronicdevice