一种新型TFT-LCD行业异物监控反馈系统.pdfVIP

一种新型TFT—LCD行业异物监控与反馈系统 张钟石1，高章飞，刘俊豪1 coach@boe，com．cn 2，E-mail 合肥京东方光电科技有限公司，合肥23001 摘要：在TFT—LCD行业，异物对品质的影响约占95％，直接关系到企业效益。因此，如何有效控制异物影响成为业内各大企业不断探索的课题。本文主 要通过对TFT—LCD制作流程中异物的影响及传统分析方法的不足进行分析，并结合实际生产经验，探索出一套以位置匹配为基础，充分的利用光学检查 机检测数据的异物管控的新型异物监控反馈系统，反馈速度由原来的2周缩短至2小时，同时亦提高了工程改善的积极性及改善效率，最终实现异物31]r 管控，所有产品波动控制在1茗内，为异物的分析与改善提供了新的思路。 关键词：异物；亮点；位置匹配；反馈；映射 ANewControIandFeedback