超精密车削金刚石刀具刃口误差的高精度补偿.pdfVIP

第38卷第 1期 光 电工程 V0ll-38．NO．1 2011年 1月 Opto—ElectronicEngineering Jan．20l1 文章编号：1003～501X(2011)ol一0098—05 超精密车削金刚石刀具刃口误差的高精度补偿 王 毅 ，余景池 (苏州大学 现代光学技术研究所，江苏 苏州 215006) 摘要：超精密车削中的金刚石刀具刀口误差的补偿问题一直是制约高精度非球面车削直接成形的瓶颈技术，尤其 对于大相对 口径，深度非球面的车削，金刚石刀具刃口误差对最终的面形的影响非常大。传统补偿方法是根据轮 廓仪的测量结果对刀具刃 口误差进行修正，但是该方法存在测量时间长，高频误差大，加工效率低的缺点，本丈 最先提 出利用车削表面面形误差拟舍后的泽尼克多项式系数对刀具刃口误差进行加工补偿，首先对该补偿方法进 行了详细的理论推导，然后对补偿效果进行计算机模拟，最后在Nanotech250单点金刚石车床上完成了口径50mm， 半径50mm大相对 口径实验件的超精密车削及修正车削，面形精度PV=86nm，RMS=7nin。充分证明该补偿符合 预期，精度高，误差收敛速度快。 关键词：超精密车削；刀具刃口误差；补偿；光学加3- 中图分类号：TG706；TH161 文献标志码：A doi：l0．3969j／．issn．1003．501X．2011．O1．019 Compensationf0rErrorofDiamondTool’SCutting EdgeinSingleDiamondTurning WANG Yi，YU Jing—chi (InstituteofModernOpticalTechnology，SoochowUniversity，Suzhou215006，diangsuProvince，China) Abstract：Thecompensationmethodfortheerrorofdiamondtool’Scuttingedgeisabottle—necktechnologytohinderthe highaccuracyasphericsurface’Sdirectlyformationaftersinglediamondturning．Especiallytothebigrelativeaperture aspheric，influenceisbigger．Traditionalcompensationwasdoneaccordingtothemeasurementresultfrom profilemeter, whichtooklongmeasurementtimeandcausedlow processingeffi ciency．A new compensationmethodwasfirstlyput forward in thearticle．in which thecorrection oftheen．orofdiamond tool’Scutting edgewasdone according to measurementresultrfom digitalinterferometer．First，detailedtheoreticalcalculationrelatedwithcompensationmethod wasdeduced．Then，theeffectaftercompensationwassimulatedbycomputer．Finally, 50mm ，radius50mm，work piecewithbigrelativeaperturefinisheditsdiamondturningandnew correctionturningunderNanotech250．Testing