超轻超薄反射镜制造过程中的变形控制研究.pdfVIP

维普资讯 第35卷第8期 光电工程 、，o1．35．No．8 2008年 8月 Opto—ElectronicEngineering Aug，2008 文章编号：1003—501X(2008)08—0128—06 超轻超薄反射镜制造过程中的变形控制研究 黄启泰，郭培基，余景池 (苏卅i大学 江苏省现代光学技术重点实验室，江苏 苏卅i215006) 摘要：针对超轻超薄反射镜(超薄镜)径厚比大、自身刚度小、单独加工难度大的问题，采用基底支撑方式对超薄 镜进行加工。我们研究了在加工过程中粘接，温度、应力等因素所导致的超薄镜变形的控制手段并对变形控制效 果提出了评判方法。通过 195inln口径超薄镜工艺实验对控制变形的工艺进行改进，用改进后的加工工艺进行了 340inln口径的超薄镜制造，得到了比较理想的面形，下盘后PV值5742，RMS值 1．022(2=632．8nm)。这表明 在超薄镜制造过程中变形控制的技术方案可行，．Y-艺改进方向正确。同时，实验结果表明，超薄镜制造过程中的 变形最终表现为镜面出现非重力因素引起的像散。 关键词：空间光学；超薄镜；加工工艺；变形控制 中图分类号：TH161+．1 文献标志码：A ControllingDistortionintheProcessof Ultra．thinM irrorM anufacture HUANGQi-tai，GUoPeiIji，YUJing—chi (JiangsuProvinceKeyLaboratoryofModernOpticTechnology，SoochowUniversity， Suzhou215006，JiangsuProvince，China) AbstractBecauseofthedifficultytofabricatetheultra—thinmirrorindividually,weproposedabasesupportingmehtod． Mehtodswhich wereappliedto conrtolhte distortion caused by adhesion，heat，andsrtessduringulrta—thin mirror fabricatingwereresearched，andmena stoestimatetheeffectwasputforward，Technologyofconrtollingmirrordistortion wasimprovedbasedontheexperienceon,195inrnultra—thinmirrormnaufacture．Thena,340mmultra-htnimirrorwas fabricated by improved technics，When itwasde—blocked from blocking body,hte surface errorofPV=5．74 RMS 1，022 ：632．8nm)causedbydistonionisacceptable，Thoseexperimentsindicatethatthosetechnicscanconrtol distortioneffectivelyandtechn icalimprovementiscorrect．Resultsoftheseexperimentsalsoindicatethatthefinalerror Oilulrta—thinmirrorsurfaceisastigmatism，whichisnotcausedbygraviyt． Keywords：spaceoptics；ultra—thinmirror；fabricationtechn ics；distort