基于旋转法的干涉仪系统误差标定.pdfVIP

第38卷第 12期 光电工程 、b1．38．No．12 2011年 12月 Opto—ElectronicEngineering Dec．2012 文章编号：1003—501X(2011)12—0069—06 基于旋转法的干涉仪系统误差标定 张建锋 一，曹学东 ，景洪伟 ，吴时彬 ，阴 旭 (1．中国科学院光电技术研究所 ，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘要：针对干涉仪高精度检测的需求，本文提 出了旋转法标定干涉仪系统误差，实现绝对检测，从而提高检测精 度。该方法根据 Zemike多项式的性质，可以通过 Ⅳ次平分旋转和一次旋转法两种方法实现。本文对这两种方法 分别做 了详细的理论推导，并且给出具体实验结果与误差分析。实验结果表明，两种方法的测量结果基本一致， 差值的PV值为0．006 ，RMS值为0．001。误差分析结果表明，一次旋转法的旋转误差小于Ⅳ次平分法，因此一 次旋转法是一种精度更高的方法。 关键词：光学检测；旋转；干涉仪系统误差；Zemike多项式；绝对标定 中图分类号：TH741；TN247 文献标志码：A d0i：10．3969j／．issn．1003—501X．2011．12．013 RotationM ethodforSystem ErrorCalibrationofInterferometer ZHANG Jian．fengl，2 CAO Xue．dong ，JING Hong．wei，W U Shi．bin ，YIN Xu ， (1．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：Tosarisfyhighprecisiontestingofinterferometer,rotationmethodtocalibrateinterferometer’Ssystem erroris usedforabsolutetestandimprovingprecision．ThemehtodbasedonpropertiesofZemikepolynomial，whichcanbe realized intwoways：N-position andTwo—positionmethod．Theoreticalanalysisand experimentsaretaken on both N-positionandtwo—positionrotationmethods，andresultsnaderroranalysisaregiven．Theexperimentalresultsshow that thesolutionsofthetwomehtodsareneralythesame，nadthePVvalueofthedifferenceis0．006 ，andRM SisO．001 ． Erroranalysisshow thattherotationerroroftwo-p·ositionissmaller．Sowt o--positionmethodhashigherprecisionthan N-positionmethod． Keywords：opticaltest；rotation；system errorofinterferometer；Zernikepolynomials；absolutecalibration 0 引 言 干涉仪是高精度光学测量中常用的重要仪器。干涉仪测量光学面形是相对测量，即被测件相对与标准 参