基于亚波长光学谐振腔的纳米聚焦器件.pdfVIP

第37卷第4期 光电工程 、，0l-37．NO．4 2010年4月 Opto—ElectronicEngineering April，2010 文章编号：1003—501X(2010)04—0147—04 基于亚波长光学谐振腔的纳米聚焦器件 赵同凯 ，魏兴战2，董小春2 (1．电子科技大学，成都 610054； 2．中国科学院光电技术研究所，成都 610209) 摘要：提出了一种基于亚波长金属光学谐振腔的纳米聚焦器件。通过利用亚波长金属结构激发表面等离子体波在 谐振腔中发生干涉，形成驻波条纹，并被耦合进相邻的锥形微尖结构中，从而在锥形尖端进行聚焦，焦斑的尺寸 达 100nrn。研究表明：通过改变亚波长光学谐振腔的长度，可以对聚焦能量进行连续调制。g,J 电磁仿真软件 FDTD进行 了针对性仿真，描绘出该器件的强度分布图，揭示出其内在工作机理，并总结出能量聚焦的规律。 关键词：亚波长谐振腔；表面等离子体；纳米聚焦 中图分类号：TH74 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003-501X．2010．04．028 NanofocusingElementBasedonSubwavelengthOpticalM icrocavity ZHAO Tong．kai‘，W EIXing．zhan ，DONGXiao—ehun (1．UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China； 2．InsitituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofScience，Chengdu610209，China) Abstract：A nanofocusingelementbasedonsubwavelengthmicrocavityisproposedanddemonstrated．ExcitedSurface plasmonswaveparticipatesininterferenceinthemicrocavity,whichresultsinasmndingwave．SubSequently,theenergy iscoupledintothetaperstructure，nadgivesrisetoannaofocusingspotwhoseFWHM isabout100nm ．Itisfoundthat thelocalizedenergycanbemodulatedbychangingthelengthofsurfaceplasmonmicrocavity．Byusingelectromagnetic field simulation softwareFDTD，we characterizetheintensity distribution paRem and open outtheinnerworking principleoftheelement． Keywords：subwavelengthmicrocaviyt；surfaceplasmon；nanofocusing 0 引 言 表面等离子体(Surfaceplasmons)是在入射电磁波作用下存在于亚波长金属结构与电介质界面上的一种 表面电磁模式¨J。通过设计优化亚波长金属结构操控表面等离子体波，可以实现对光的位相与方向的有效 调控。随着纳米加工技术的发展，利用亚波长金属结构实现各种功能器件、人工结构材料已经成为可能。 基于亚波长金属结构的微纳光子器件逐渐被广泛应用于化学、生物感测L2J；用于亚波长光学数据存储、纳 米光刻j【及能够突破衍射极限的超分辨成像 J；尤其在纳米波导、全光回路、光子芯片、调制器、以及基 于表面等离子体的其它元器件方面 』，具有广阔的科研价值和应用前景，为新一代光学器件与系统