激光偏角测量技术研究.pdfVIP

维普资讯 第28巷第 1期 光电工程 V01．28． No．1 2001年 2月 Opt~ElectronicEnglneering Feb．2001 文章编号：1003—501X(0201)01—0036—03 激光偏角测量技术研究 - 6文礼，郭永洪，沈忙作，莫 萍 (中国科学院光 电技术研究所，四川成都 610209) 摘要：夼招一种采用激光测量反射镜偏角的方法，它适合于光学系统装配时的疆lJ量。采用CCD 细分技术砷成象光斑质心进行提取 ，提 高 了偏角测量精度 ．在 1．25。的测量范 围内，可 以迟到 ± 的疆lJ量精度 。 关键词：角度测量；激光测角；反射镜；测量精度 中图分类号：TH741．2 文献标识码：A A ResearchOiltheM easurementofMirror DefiectionAnglewithLaser MAWen-li，GUO Yong-hong，SHEN MLang-zuo，MO ping (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademy ofSciences，Cfiengdu610209，Chi~a) Abstract：Amethodformeasuringdeflectionang leofmirrorwithlaserisintroduced．Itissmtab~for themeajn日m髓tinassembling ofanopticalsystem．n坨centroldofimaging spotsiextractedwith CCDsubdivisiontechnique．htusthemeasuringaccuracyofthedeflectionanglecarlbeimproved． Wimtnthemeastmng rangeof 1．25。。ameasuringaccuracyof ±3 canbeachieved． Keywords：Anglemesstlr~~Illent；Laserang lemeasuremem ；M irror；Measuring accuracy 引 言 光学系统的成象质量除了取决于系统中各元件的制造精度以外，很大程度上受装配精度的影响，如光 学间隔和光学偏心的影响。根据对光学系统公差的分析，系统对偏心的公差要求往往高于对间隔的公差 要求。因此，在光学系统装配时．对光学元件的偏心要进行严格的控制。 经过多年研究。光学系统中光学元件偏心的测量已经有比较成熟的方法，如采用光学对心器和中心偏 测量仪。这两种方法者 黾测量光学元件球心的象，装配时调整光学元件，使所有球心象在一条直线上。通 常，采用这种方法装配出的光学系统具有较高的偏心精度。但是，这两种测量方法也有不足之处，如对于 非球面的光学元件，很多没有球心的象。另外，当光学元件 口径很大或中心处有开I：1时，上述的偏心测量 方法就受到了限制。基于这个原因，我们研制了激光偏角测量仪。它充分利用了激光发散角小、直线性 好、便于安装、调试和瞄准的特点，适合于各种光学元件的装配测量。此外．这种激光测量技术还适合于重 点建筑，如水坝、高层建筑的变形监测。 收稿 日期：20O0 08 30 作者简介：马文礼0962 )，另(祝族)．吉林四平^，副研究员．硕士生， 饕从事光 电工程研究 维普资讯 2001}2月 马文礼等：激光偏角测量技术研究 1 激光偏角测量原理 首先将被测反射镜安装在高精度转轴上，调整激光 器的位置，使激光器发出一束激光照射到被测反射