激光频率分裂测波片的误差分析和实验评价.pdfVIP

第37卷第2期 光 电工程 Vb1．37．NO．2 2010年 2月。 Opto—ElectronicEngineering Feb．2010 文章编号 ：1003—501X(2010)02—0054—06 激光频率分裂测波片的误差分析和实验评价 刘维新，张书练，丁 铭，谈宜东 (清华大学 精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室，北京 100084) 摘要：本文讨论了利用激光频率分裂技术测量波片位相延迟的主要误差因素，并对其中激光器初始位相延迟和波 片非对正引入的系统误差进行补偿。误差分析表明：系统对于多级波片的测量不确定度约为 1．7，，对于零级波片 为 0．8。然后针对系统性能进行实验评价，包括：比较波片沿激光轴线对正和倾斜时对测量结果的显著影响，以 及测量波片通光面内不同点的位相延迟和波片光轴与其表面的夹角。根据实测结果，系统测量重复性和复现性优 于O．02。，不确定度优于2，即约 R／10。 关键词：波片；He．Ne激光器；频率分裂；位相延迟 中图分类号：TN247 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2010．02．010 ErrorAnalysisandExperimentalTestingofM easuringW avePlate BasedonLaserFrequencySplitting LIU W ei-xin，ZHANG Shu-lian，DING M ing，TAN Yi—dong (StateKeylaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstrument， TsinghuaUniversity，Beijing100084，China) Abstract：ThemainerrorsourcesformeasuringphaseretardationofWavePlatef、vP1basedonlaserfrequencyspliRing technologyareanalyzed．Andthesystematicerrors，causedbytheinitialphaseretardationoflaserandmisalignmentof W arecompensated．Erroranalysisshowsthatastomulti—orderWPthemeasuringuncertaintyis1．7 andasto zero-orderWP．0．8．Itsmeasurementperformancesaretested inexperiments．includingcomparingthemeasurement resultswhenW Pisalignedorinclinedtothelaseraxis．measuringthephaseretardationatdifferentpointsamongtheW P aperture；and evaluatingthemisalignmentanglebetweenW Popticalaxisanditssurface．Accordingtoexperimental results，thissystem demonstratestherepeatabilityandreproducibilitybe~erthan0．02。，andtheuncertaintybetterthan2， viz．about2／10． Keywords：waveplate；He-Nelaser；frequencysplitting；phaseretardation O 引 言 波片在涉及偏振光的很多场合中都有广泛应用，其位相延迟在很大程度上会影响系统的性能J【J。目前 常用的测量方法中，主要有椭偏测量法