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光电工程
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1 ． ． 维普资讯
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第 3O卷第 2期 光 电工程 V_0l-30，No．2
2003年 4月 tO—Electronic En~ineerin ADfil，2Oo3
文章编号：1003．501X (2003)02．0015—03
激光用于LCD板 ITO膜修复的研究
宁继平，李嘉强，鲁笑春，李晓光，姚建铨
(1．天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津 300072；
2．国家教育部光电信息技术科学开放实验室，天津 300072)
摘 要 ：对激光修复 LCD 板 ITO膜 的过程及影响因素进行 了理论分析和计算 。设计并加工出一
套激光聚焦系统，由一个用于扩柬和压缩发散角的倒置开普勒望远镜和聚焦透镜组成，其聚焦光
斑为 15 。优化了调Q基模Nd=YAG激光器的参数，并用其进行了实验研究。结果表明，能修
复各种不 同厚度 的 ITO膜 ，打 的孔小于 20岬 ，位置漂移量小于 3岬 。
关键词 ：激光修 复；透光导 电膜 ；激光聚焦系统
中图分类号 ：0484，TN249 文献标识码：A
＼ ＼ studyforapplicati0n0flasertorepair．ngITomm0nLcDb0ard
’ NING Ji-ping，LIJia-qiang，LU Xiao-chun
LIXiao-guang，YAO Jian·quan
(1．CollegeofPrecisionInstrumentandOptoelectronicEngineering，
‘
TianjinUniversity Tianjin300072；
＼ 2．KeyLaboratoryofOptoelectronicinformationTechnologyScience，
MinistryofEducation，Tianjin300072China)
Abstract：ThelaserrepairingprocessforITO film onLED boardandtheaffectingfactorsareanalyzed
andcalculatedintheo1．A laserfocusingsystem isdesignedandmanufactured．Thesystemconsistsof
aninvertedKeplertelesc@eandfocusinglens．TheKeplertelescopeandfocusinglensisusedofrbeam
expandingcompressingdivergenceangle， respectively， andfocusingspotis0．015mm．Thepraameters
Q．switchingfundamental—modeN
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