极紫外%2f软X射线多层膜衍射光栅.pdfVIP

维普资讯 第34卷第5期 光电工程 Vo1．34，No．5 2007年5月 Opto-ElectronicEngineering May,2007 文章编号：1003—501X(2007)05—0027—06 极紫外／软X射线多层膜衍射光栅 金春水 ，张立超 ，2 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 l00039) 摘要：多层膜光栅是集多层膜的高反射率与光栅的高光谱分辨于一身的新型光学元件，它的出现使得在极紫外／ 软x射线 (EUV／SXR)波段采用非掠入射、高光谱分辨率的分光元件成为可能 对多层膜光栅的衍射特性进行 了 分析，这些衍射特性使多层膜光栅能够作为核心部件，实现很多新颖的EUV／SXR光谱仪器，如窄带x．uV单色 仪与多色仪 近年来，多层膜光栅的制备领域不断地出现新的思想与方法，同时多层膜光栅的实际应用也不断增 多 多层膜光栅作为一种重要的光学元件，在天文学、物理学和材料科学等领域具有广泛的用途。介绍了多层膜 光栅在众多研究领域中的应用。 关键词：极紫外；多层膜；衍射光栅 中图分类号：TB43 文献标识码：A EUV／SXR muitilayerdiffractivegrating JIN Chun．shui．ZHANG Li．chao， (I，StateKeyLabofAppliedOptics，ChangchunInstituteofpOtics，FineMechanicsandPhysics，theChineseAcademyof Sciences，Changchun130033，China；2，GraduateSchooloftheChineseAcademyofScience，BeOing100039，China) Abstract：MultilayergratingisapotentopticalelementinExtremeUltraviolet(EUV)andSoftX—ray(SXR)region．By combininghighreflectivityofmultilayerandhighspectralresolvingabilityofgratingstructure，multilayergratingenable theuseofnon-grazingincidenceandhighresolvingpowerapplicationsinEUV／SXR region．Dispersivecharacteristicsof multilayergratingsareanalyzed．Byvirtueofthesecharacteristics，multilayergratingisapowerfulopticalelementwhich isused in awideregion ofastronomy，physics，materialscience，etc．In recentyears，fabricating technologiesof multilayergratinghasbeenpromotedgreatly．Performanceofmultilayergratingisimproved，Owingtothis，application fieldofmultilayergratingislargelyextended， Keywords：EUv：Multilayer；Diffractivegratings 引 言 作为电磁波谱的一部分，软x射线和极紫外波段(15-3000eV)tu的辐射是最晚被开始研