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光电工程
第38卷第6期 光 电工程 、，0l-38．No．6
2011年 6月 Opto-ElectronicEngineering June．20l1
文章编号：1003—501X(2011)06—0071—07
计量光栅空间位姿参数光场输出模型与仿真
胡 毅 ，费业泰 ，叶斯然2
(1．合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，合肥 230009；
2．香港科技大学 工学院电子与计算机工程学系，香港 )
摘要：光栅安装或应用过程中光栅传感器指示光栅、标尺光栅相互位置发生改变，导致莫尔条纹发生畸变，直接
影响着测量精度和后续处理系统的复杂程度。本文采用傅里叶频谱分析方法，建立包含指示光栅、标尺光栅位置
姿态参数的光场输出模型，给出了两栅不平行时输出光场的数学表达式，对主要影响因子进行了较详细的分析，
并在Matlab中进行了仿真，给出了不同安装偏角下的莫尔条纹误差值及变化趋势，讨论 了接收传感器的结构尺寸
对测量结果的影响，得出了与莫尔条纹同尺度的接收系统有最小的测量误差，其结果对光栅副的精度设计和结构
设计有较好的指导性。
关键词：计量光栅；不平行；光场强度；仿真
中图分类号：TN206；TN253 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003．501X．2011．06．012
OutputM odelandSimulationforOpticalFieldwith
M etrologicalGratingSpacePoseParameters
HU Yi，FEIYe．tail YE Si．ran2
，
(1．SchoolofInstrumentScienceand@ to—electronicsEngineering，
HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China；
2．ECEDepartment,SchoolofEngineering，
HongKongUniversityofScienceandTechnoloyg，Hongkong，China)
Abstract：Metrologicalgratingsarenow widelyusedinsuchfieldsasprecisionmeasurement，numericalcontrolmachine
and SOon．Themutualposition changebetween instruction grating and scale grating ofthesensorduring grating
installationorapplicationprocedurewillresultinthedistortionofM oir6fringe，whichdirectlyinfluencethemeasurement
accuracyandcomplexity degreeforfollowingprocesssystem．In thispaper,Fourierspectrum analysismethodwas
applied to build the opticalfield outputmodelinvolving instruction grating and scale grating poseparameters，
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