计量光栅信号质量综合评价系统.pdfVIP

维普资讯 第 29卷第4期 光 电工程 Vo1 ． 29，No．4 2002年 8月 tO—Electronic Enuineerin Au￡．2oo2 文章编号：1003．501X (2002)04—0035．04 计量光栅信号质量综合评价系统 李红军，吴 凡 ，刘恩海 (中国科学院光 电技术研究所 ，四川 成都 610209) ． 摘 要 ：光电轴角编码器中的莫尔条纹信号质量决定了整个系统的细分精度。计量光栅信号质量 综合评价系统 由编码器、数据采集卡和相应的软件组成，采用一种 以莫尔信号离散采集和数据处理 为主的数字化检测方法，实现对莫尔条纹信号质量各项指标的评价，对提高测量精度以及光栅系 统的设计具有一定意义。 关键词：莫尔条纹；谐波分析；轴角编码器；计量光栅 中图分类号 ：TP212 文献标识码 ：A A comprehensiveestimatingsystem forsignal qualityofmetrologicalgrating LIHong-jun，WrUFan，LIUEn-hal (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyof Sciences，Chengdu610209，China) Abstract：Thesignalquali~ ofMoirefringeinphotoelectricshaftencoderdeterminesthesubdivision accuracy ofthewhole system．A comprehensiveestimating system forsignalquality ofmetrological grating consistsofencoder，data samplingcardandthecorresponding softwrae．A digitaldetection methodusingdiscretesamplingM oiresignalanddataprocessingasitsmainmeansisadoptedandthe evaluationofrvariousspecificationsofM oirefringequality iscarriedout．Thishassomesignificna ce forimprovingmeasurementaccuracyandthedesignofgratingsystem ． Keywords：Moirefringe；Harmonicwaveanalysis；Angleencoders；Metrologygratings 已JIl 吉口 现代信息技术的三大支柱一传感器技术、通讯技术和计算机技术在 当今社会中发挥着越来越重要的 作用 。而作为信息获取的手段，传感器技术直接衡量 了一个国家信息技术的发展程度 。 光 电轴角编码器作为 自动化设备理想的角度传感器，已普遍应用在雷达 、光电经纬仪 、指挥仪、机 器人和高精度闭环调速系统等诸多领域 。随着光电编码器的广泛‘应用 ，以及编码器 向着高精度 、高分辨力、 高频响、小型化、智能化的发展趋势，对编码器中的原始信号质量要求越来越高。比如：根据分析莫尔条纹 光电信号细分 1000等份的要求，其主要的四项指标为：直流分量 ．．．6％ ，正余弦信号的等幅性 1．2％， 信号正交性≤0．7。，信号的正弦性 0．6％ 。目前 ，在评价这些指标时，常常需要借助于各种信号分析仪。 如：在相位计上测量正交性 ，从示波器上观察李沙育图形的形状来判断原始信号的