径向哈特曼动态测量控制.pdfVIP

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光电工程

维普资讯 第35卷第9期 光电工程 Vo1.35,No.9 2008年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sep,2008 文章编号:1003—5O1X(2o08)O9一o036一O5 径向哈特曼动态测量控制 杨俊涛 一,何玉梅 ,,汤国茂 (1.中国科学院光电技术研究所 ,成都 610209;2.中国科学院研究生院,北京 100039) 摘要:径向哈特曼像质检测系~(RHTS)是一种新型的大口径光学检测系统,在室内不用大口径标准平面镜就可以 实现光学系统的检测。目前,RHTS存在测量时间长、图像采集数据量大、以及在测量过程中,温度、噪声等周 围环境的不稳定因素对系统的测量结果影响严重等问题。在测量大口径光学系统的过程中,基于对该系统控制流 程的分析,本文提出了动态测量控制方案,设计出满足该动态测量所需要的控制电路,并采用新的数据采集处理 方法,实现了径向哈特曼的快速动态测量,减少了系统测量时间。 关键词:径向哈特曼;双五棱镜;光学检测;PCI总线;控制系统;DSP 中图分类号:TP23,0435.2 文献标志码:A DynamicM easurementandControlofRadial-Hartmann W ave-frontTestSystem YANG Jun.tao,一,HEYu.mei一,TANG Guo.mao (1.InstituteofOpticsandElectronics,ChineseAcademyofSciences,Chengdu610209,China; 2.GraduateSchoolofChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China) Abstract:Radial—Hartmannwave-rfontTestSystem (RHTS)isanewmeasurementsystem forlarge-apertureoptical system.Itoanbeusedofrthemeasurementoftheopticalsystem wihtoutalarge-fiatmirrorinhteroom.Currently,this system hassomeproblemssuchaslongtimeofrmeasurement,largemountofimageacquisitionandhteinstabilityofhte surroundingenvironmentsuchas temperaturenadnoise.Duringhtecourseofhtemeasurementofrlrage-apertureoptical system,basedonhteanalysisofthecontrolflow,aconrtolmehtodofrdynamicmeasuringisputofrwrad,acontrolcircuit ofrthedynma icmeasuringisdesigned.Andafastdny amicmeasurementoftheRHTSisachievednadhtetesttimeis decreasedwiht anew mehtodofdatacollectionna dcalculation. Keywords:radial·Hartmarm;double-penatprism ;opticaltesting;PCIbus;conrtolsystem;DSP 1 引 言 大型光学系统的像质检测方法中一般都需要与被检对象对应的大口径标准平面镜或平行光管;同时, 大口径标准平面镜或平

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