矩形孔径上折射率均匀性数据拟合研究.pdfVIP

第38卷第 11期 光电工程 V_0l_38．No．11 2011年 11月 Opto—ElectronicEngineering Nov,2011 文章编号：1003—501X(2011)11—0146—05 矩形孑L径上折射率均匀性数据拟合研究 廖志远 1,2，邢廷文 ，刘志祥 (1．中国科学院光电技术研究所，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘要：泽尼克圆多项式在圆形光瞳的正交性和能够代表经典像差而被广泛应用到波前分析中，用泽尼克圆多项式 作为矩形光瞳基底函数，通过推导得到在矩形光瞳上正交的多项式。这个在矩形光瞳上正交的多项式不仅是唯一 的，而且也能够表示经典像差，就像泽尼克圆多项式在表示圆形光瞳时具有这样的特性一样 矩形光瞳上正交多 项式像泽尼克圆多项式一样即可以用极坐标表示也可以用直角坐标表示。使用正交多项式前 15项在MATLAB中 用最小二乘法拟合窗口干涉数据 ，从拟合残差的RMS统计分析的结果来看，能很好描述高质量熔石英材料在窗 口方向上的折射率均匀性分布。 关键词：折射率均匀性；矩形光瞳；正交多项式；数据拟合 中图分类号：TP391．9 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2011．11．026 FittingofIndexHomogeneity DataontheRectanglePupil LIAO Zhi-yuan，．，XINGTing-wen ，LIUZhi．xiang (1．LabofAppliedOptics，InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Bejiing100049，China) Abstract：Zemikecirclepolynomialsareinwidespreaduseforwavefrontanalysisbecauseoftheirorthogonalityovera circularpupiland theirrepresentation ofbalanced classicalaberrations．Using the circlepolynomialsasthebasis functionsfortheirorthogonalizationoverrectanglepupil，wederiveclosed—ofrm polynomialsthatareo~honomr aloverit． Thepolynomialsareuniqueinthatthey arenotonlyorthogonalacrossrectanglepupils，butalsorepresentbalanced classicalaberrations，justastheZemikecirclepolynomialsareuniqueintheserespectsofrcirculra pupils．The polynomialsmaybegivenintermsofhtecirclepolynomialsaswellasinpolarorCartesiancoordinates．Usinghtefirst 15itemsofhterectanglepolynomialstofithtedataofinterferometerofrecatnglewindowsinhteleastsquaresmethod， wecangettheconclusiontha