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光电工程
维普资讯
第35卷第 1期 光 电工程 Vo1．35．No．1
2OO8年 1月 Opto-·ElectronicEngmeefing Jan，2008
文章编号：1003—501X(2008)01—0040—05
扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用
刘 佳，张晓萍
(兰州大学 信息科学与工程学院，兰州 730000)
摘要：针对现代光刻中，超大数值孔径的情况下，通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精
确，必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模，提出了一种考虑阴影效应的近似模型。
重新定义了阴影比率的公式。该方法是傅里叶衍射理论的扩展，是一种依赖于入射角的函数。分别给出了交替式
相移掩模空间域和空间频率域的传递函数的表达式。并对提 出的近似模型的衍射效率以及干涉场光强分布进行了
仿真。结果表明，衍射效率和干涉场的强度分布是随着入射角的改变而改变的，不同线宽的衍射效率也不同。并
且衍射效率是关于零度入射角对称分布。
关键词：超大数值孔径；相移掩模；离轴照明；阴影效应；傅里叶衍射理论
中图分类号：TN305．7 文献标志码：A
ApplicationofExtendedFourierDiffraction
TheoryforAlternatingPhaseShiftM ask
LIU Jia，ZHANG Xiao-ping
(SchooloflnformationScienceandEngineering，LanzhouUniversity，Lanzhou730000，China)
Abstract：Inordertoimprovetheresolutionofphotolithographicsystem，hypernumericalapertureisneeded．However,
analysisoftransferfunctionwithFourierdiffractiontheorywillbeinadequate，andshadowingeffectsmustbeconsidered
forobliqueillumination．Therefore，anew approximationmodelofralternatingphaseshiftmaskconsideringshadowing
effectswasproposedinthispaper,andshadowingratiowasredefined．ExtendedFourierdiffractiontheory wasused，and
arelationoffunctiondependedonincidentangle．Expressionsofralternatingphaseshiftmaskweregivenofrbothspace
domam na drfequencydomain。Diffractionefficienciesnadinterferencefieldsweresimulatedusingapproximationmodel。
Theresultsshow htatdiffractionefficienciesandinterferencefieldsvary withincidentanglesanddirffactionefficiencies
vary wiht linewidthtoo。Moreover,dirffactionefficienciesaresymmetricaboutthezeroincidentna gle．
Keywords：hyperNA；
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