利用ZnO薄膜温变特性构建光纤温度传感器.pdfVIP

第36卷第 10期 光电工程 、b1．36．NO．10 2009年 10月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2009 文章编号：1003—501X(2009)10—0094—06 利用ZnO薄膜温变特性构建光纤温度传感器 隋成华，郑 东，刘玉玲，蔡萍根，许晓军 (浙江工业大学 理学院应用物理系，杭州 310023) 摘要：采用电子束蒸发的方法在蓝宝石光纤端面上生长ZnO薄膜，不同测试温度下透射光谱表明：ZnO薄膜的光 学吸收边随温度的升高呈明显的红移。根据 ZnO薄膜的光学吸收边所呈现的这一负温度效应，研制了基于 ZnO 薄膜温变特性的透射式光纤温度传感器。实验表明，在室温至500℃测温范围内其灵敏度优于0．05nm／~C。该光 纤温度传感器的测温范围理论上可从负温区(约一260℃)至高温区(约 700℃)。与其他传统的温度传感器相比，该 温度传感器具有结构简单，成本较低，测量稳定性高和量程范围宽等优点。 关键词：ZnO薄膜；蓝宝石光纤；光学吸收边；光纤温度传感器 中图分类号：TN247 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2009．10．019 OpticalFiberTemperatureSensorBasedonTemperature-dependent OpticalPropertiesofZnOFilm ontheSapphireFiber-ending SUICheng—hua，ZHENGDong，LIUYu—ling，CAIPing-gen，XUXiao-jun (DepartmentofAppliedP ics，CollegeofScience，ZhejiangUniversityofTechnology，Hangzhou310023，China) Abstract：ZnOthinfilmwasgrownonthesapphirefiber-endingbyElectron—beamEvaporation(EBE)．Thetransmittance spectra show thattheopticalabsorption edgered shiftsobviously with increasingtemperature，Based on negative temperatureeffectoftheopticalabsorptionedgeoftheZnO thinfilm，transmissiveopticalfibertemperaturesenorwas designedandfabricated．Intherangefrom room temperautreto500 ℃．thesensitivityisbeyond0．05nm ／~C withthe experiment．Themeasuringtemperaturerangeofthesensorcanbefrom 一260 ℃ to700 ℃ intheory．Comparedwith thetraditionaltemperaturesensor,thetemperaturesensorhastheadvantagesofsimplerstrucutre，lowercost，be~er stabilityandbroadermeasurementrange． Keywords：ZnO thinfilm；sapphirefiber；opticalabsoprtionedge；opticalfibertemperautresensor 0 引 言 ZnO是新一代宽带隙 II—VI族的半导体材料，由于其获取简单，制备方便，成本低廉，外延生长温度 低，对环境污染小，对生长衬底没有苛刻要求，受到广泛关注，其在0．4～2gm的波长范围内是透明的， 具有熔点高、激子束缚能大、光电和压电特性优 良、化学稳定性好等优点，因而在发光器件、紫外光探测 器、集成光学以及太阳能电池