利用白光扫描干涉测量表面微观形貌.pdfVIP

第38卷第 1期 光电工程 、，0l-38No．1 2011年 1月 Opto—ElectronicEngineering Jan．20l1 文章编号：1003—501X(2011)01—0071—05 利用白光扫描干涉测量表面微观形貌 刘 晨 ，陈 磊2，王 军2，韩志刚2，师丽丽2 (1．合肥工业大学 仪器科学与光 电工程学院，合肥 230009； 2．南京理工大学 电子工程与光电技术学院，南京 210094) 摘要：由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值，不能进行绝对测量，本文提出了白光显微干涉测 量方法，研制了测量仪器，并对CCD像素格值和PZT进行 了标定。该仪器以白光干涉理论为基础，利用空间频 域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置，根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌。对被测工件 表面进行了测试，试验结果表明：此系统可用于平面、台阶、薄膜、球面等三维微观形貌的测量。 关键词：白光干涉；微观形貌；测量 中图分类号 ：0439 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2011．01．014 M easurementofSurfaceTopographybyUsing W hite—lightScanningInterferometry LIU Chen ，CHEN Lei，WANG Jun ，HAN Zhi—gang ，SHILi．1i2 (1．SchoolofInstrumentScienceandOptoelectronicEngineering，HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China； 2．SchoolofElectronicEngineeringandPhotoelectricTechnoloyg， NanjingUniversiytofScience＆Technoloyg，Nanjing210094，China) Abstract：Asthelaserinterferencemicroscopetestingtechnologyisonlysuitableforthemeasurementofrelativealtitude insurfacetopographytestingandisnotavailableofrabsolutemeasurement，themethodbyusingwhitelightinterference microscopetestingtechnology ispresented．Themeasuringinstrumentbasedonthewhitelightinterferencetheoryis developed，andthecalibrationbetweenthepixelofCCD andPZTiscarriedout．ThetopographyofthetestingsurNceis calculatedwiththemicro-displacementofthecenterofzeroclasswhitelightrfinge，whichislocatedthroughspatial rfequency—domain algorithm ．The experimentiscarried out，andthe resultshowsthatthemethod isavailablefor measuringthetopographyofplanesurface，benchsurface，film surfaceandspheresurface． Keywords：whitelightinterference；topography；meas~eme