利用空域采样相移干涉计量法测量微小位移.pdfVIP

维普资讯 第 30卷 笫 4期 光 电工程 Vo1．30，No．4 2003年 8月 Opto—ElectronicEngineering Aug，2003 文章编号：1003—501X(2003)04—0034—05 利用空域采样相移干涉计量法测量微小位移 赵 霞 (中国矿业大学北京校区，北京 100083) 摘 要： 提 出了一种利用空域采样 实现相移干涉计量的新方法和实验演示装置。演示装置使用倾 斜镜或阶梯镜作为相移器件，线阵CCD做为光学传感器。实验表明：此方法非常适用于测暨陕速 变化的 目标或动态过程 ，其测量精度与传统时域采样相移技术相 当但具有更好的稳定性和更高的 测量速度 ，而测量范围是离焦量的 2倍 。 关键词：相移，倾斜镜 ，干涉计量法，空域采样 中图分类号：P164 文献标识码：A M easurementofmicro-displacementbymeansofphaseshift interferometrywithspatialdomainsampling ZHAO Xia (School inBeijing,ChinaMiningUniversity，BeUnig100083，China) Abstract：Anew methodandna experimentalunitforrealizingphaseshiftinterferometrybymena sof spatialdomain sampHngisproposed．Theunitusesfast-steeringmirrororechelon lensas phaseshift device，lineararrayCCD asopticai sensor．Theexperimentsshow htatthemehtodisverysuitableofr measuring fastvariation targetsordynamicprocess．Itsmeasuring accuracy isequivalenttohtatof rtaditionalphaseshifttechniqueoftime—domain sma pling，wiht abetterstabilityandhighermeasuring speed．Itsmeasuringrna geistwotimesofhteoff-defocusma ount． Keyword： Phaseshift：Tiledmi rror：Interferometry：Spacedomainsampling 引 言 光学干涉计量技术的出现使得测量波长量级的微小位移和形变等成为可能。利用通常的干涉计量方法 测量小到几百纳米的位移和形变技术已经非常成熟并得到了广泛的应用。但随着测量精度要求的进一步提 高，传统的干涉计量方法 已经显得力不从心。相移干涉计量方法的出现扩展了光学干涉计量技术的应用范 围，它在大大提高测量精度的同时，由于采用计算机 自动位相数据恢复技术，其 自动化程度更高，可靠性 更好。自从相移干涉技术问世 以来，已经在光学加工和检测、微小位移测量等多个方面得到了应用。 通常的相移干涉计量技术，对每一测量点一般需要三个或三个以上的参考光相移后的光场强度数据进 行位相计算，因此在相移过程中必须保证被测量点的位相不变。这对于测量缓慢变化或静态的目标是可行 的，但有时我们需要精密测量快速变化的目标，传统的相移干涉计量方法将会遇到很大的困难；另外，通 常的相移干涉计量技术 中，参考光相移一般是采用PZT等沿光线方向移动反射镜改变光程的方法，由于相 移器件 的非线性，也会造成很大的测量误差。 为了将相位测量技术应用到动态过程 ，出现