两种莫尔条纹信号对光栅系统测量精度的影响.pdfVIP

维普资讯 笫29卷第6期 光 电工程 Vo1．29．No．6 2002年 12月 to—Electronic Enzineerin Dec，2002 文章编号：1003—501X (2002)06—0043—03 两种莫尔条纹信号对光栅系统 测量精度 的影响 魏晓蓉，刘丰文 (中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209) 摘 要：对两种莫尔条纹 (光闸条纹和横向条纹 )信号的谐波含量以及它们对光栅系统测量精度 的影响进行 了分析，并用实测数据加 以比较，指出在光栅系统中，取横向莫尔条纹信号的谐波量 小，正弦性好 ，细分误差小，在其它参数相同的情况下，可提高系统的测量精度 2倍左右 。 关键词：莫尔条纹；光栅系统；谐波；测量误差 中图分类号：TN761 文献标识码 ：A InfluenceoftwoM oirefringesignalson measuringaccuracyofagratingsystem W EIXiao-rong，LIU Feng-wen (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademy ofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：TheharmonicwavecontentintwoMoirefringes(1ightvalvefringeandlateralfringe)and theirinfluenceonmeasuringaccuracyofagratingsystem areanalyzed，andacomparisoniscarriedout withpracticalmeasureddata．W ealwaysuselateralM oirefringesignalofthegratingsystem．Thesignal hastheadvantagesofsmallharmonicwaveamount，goodsinepropertyandsmallsubdivisionerror．The measuringaccuracyofasystem canbeimprovedfor2factorsorsowhenhteohterpraametersaresame． Keywords：M oirefringes；Gratingsystem；Harmonicwave；M easuringaccuracy 引 言 提取高质量的莫尔条纹信号，是提高光栅系统测量精度的重要途径。莫尔条纹信号的正弦性是评价莫 尔条纹信号质量的指标之一，而信号的谐波含量将影响信号的正弦性，谐波含量大，正弦性差。由于电子 细分技术是基于理想的正弦信号，正弦性差将带来很大的细分误差。对于高精度光栅系统，细分误差往往 占据总的测量误差的一半以上，如果能减小信号中的谐波量，将大大提高光栅系统的测量精度。在实际工 作中，我们发现，在同样的条件下，只改变两光栅栅线夹角，分别取出光闸条纹和横向条纹，信号中的谐 波含量不一样，相 比之下，横向条纹信号谐波量小，正弦性好，光栅系统的测量精度高。两者之间的差别 相当明显 ，我们通过实测数据 ，对两者进行了比较 。 1原理分析 理论分析和实验结果表 明：非相干照明下的莫尔条纹是光栅副调制光场中的一种 “节拍 ”现象 ，它可 用低于系统的原始节拍 (即光栅空间频率)的信息分量来解释 。根据信息光学原理，一般透射振幅光栅 (矩 形光栅)对于平行入射光幅度 的调制作用，与一系列包含基频和各次谐频的余弦光栅基元的联合调制作用 收稿 日期 ：2002-04-10： 收到修改稿 日期；2002—07—1