纳米加工中的光驻波场研究.pdfVIP

维普资讯 第27卷第6期 光 电工程 V01．27． No．6 2000年 12月 0Dt0一ElectronicEnginee Dec，2000 文章编号 ：1003--501X(2000)06--0025--05 纳米加工中的光驻波场研究 剜 ，堕 李展，陈元培，罗先刚，康西巧 ( ·／ ／(中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，四川 成都 610209) 摘要 ：介绍j纳米加工 中的光驻波场 ，分别对单反射面和双反射面形成的驻波进行j分析 ，并舛 不同区域的光强分布进行 ，理论推导。最后对如何形成高质量的光驻波场进行j探讨 差中竺图分类号 ；垄堡堡； 一． ：0436．1 文献标识码：A 一 Investigation on LightStanding—W aveFieldin Nanofabrication CHEN Xian-zhong，YAO Han-rain．LIZhan． CHEN Ynan—pei，LUO Xian—gang，KANG Xi-qiao (StateKeyLaboratoryofOpticalTechnologiesfo Microfabrlcation，InstituteofpOt~sandElectronics． ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209．China) Abstract：Thelightstanding—wavefieldinnanofabrication isintroduced．Theanalysisforthe standing—waveformedinsinglereflectingsurfaceanddoublereflectingsurfaceiscarriedout， respectively．Thelightintensitydistributionsin thedifferentzonesarederivedintheory．Some investigationsarecarriedOUtforhowthehighqualitystanding—wavefieldisformedintheend． Keywords：Nanofabrication；Lightstandingwave；Lightintensitydistribution CLC number：0436．1 引 言 纳米技术是二十一世纪信息科学的关键技术之一，纳米量级微结构的制作是纳米技术领域的重要组 成部分。该研究是利用激光梯度场对原子的作用力改变原子束流在传播过程中的密度分布，使原子按一定 规律沉积在基底上形成几十纳米甚至几个纳米的三维结构。激光梯度场质量的好坏直接影响着纳米图形 的加工精度 最简单、最易获得的激光梯度场是光驻波场，因此对光驻波场的研究具有非常重要的意义。光 驻波现象在光学中是普遍存在的，但由于光的波长比较短．所以要完成光驻波的实验[是困难的。本文从 光场的时间相干性理论出发，对单反射面和互成一定角度的双反射面形成的光驻波场进行了分析，对光场 的强度分布进行了理论推导，并讨论了如何形成高质量的光驻波场。 1 光场的时间相干性理论 光场的相干性包含时间效应，又包含空间效应 。时间相干性源于光源的有限谱宽，空间相干性源 收稿 日期：2O00—08—29 基盒瑾且t中国科学院知氓刨新工程资助项 目(A2K0009) 作者简介t陈献忠(197l一)．男(汉族)，山东临沂人，硬士生．从事敬电子光封研究． 维普资