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2015-08-26 发布于重庆
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SiC粉体化学镀铜工艺研究.pdf

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SiC粉体化学镀铜工艺研究.pdf

!# 粉体化学镀铜工艺研究 ’， ’，刘君武，! 吕珺，! 王建民，! 郑治祥，! 汤文明（’: 燕山大学材料科学与工程学院，河北秦皇岛! #))##+ ； : 合肥工业大学材料科学与工程学院，安徽合肥! ###, ）摘! 要：介绍了@1A 粉体的敏化、活化及其碱性化学镀铜的工 09 ）$# D *# F - E ，9;/B;W095W; ?8 ’$ D $ G ，BC Z025; ?8 艺配方。分别对镀液稳定性的影响因素和各工艺条件对镀速 ’: $ D ’: IHW0] 188W0=91? 002]X1X ?8 =?/B?X19; B?4;W @1A 粉体颗粒越细、镀液BC 增的影响进行了研究。结果表明， ?8 @1AHA5 089;W 02[021; ;2;=9W?2;XX =?BB;W B2091F 0 7;09 大、温度升高，都容易导致镀液分解；增加甲醛含量，可以提高 9W;09/;9 09 0 9;/B;W095W; ?8 ’ #$# G X7?4 A5 、@1A 0 镀速，但是镀液稳定性下降；适宜的络合剂，可以提高镀层质 A5 J ;V1X91F 1 97; ;B?X19 0 A5 BW;X;91F 0 =W]X902 量，保持镀液稳定，但络合剂含量增加，镀速降低。得出了最 X909;: A?BB;W ;B?X19 1X 1 F?? =?;V1X9;=; 4197 @1A B?4;W 佳的工艺条件：（甲醛）’# D # /E - E，（络合剂）$# D *# F - E ， ! 温度’$ D $ G ，BC ’: $ D ’ 。碱性化学镀铜后的@1AHA5 复 09 71F7 9;/B;W095W;X 4197?59 80221F ?88: @.b B7?9? X7?4X 合粉体及其于’ #$# G 热处理后的I % 射线衍射分析表明，镀 9709 97; =?/B?X19; B?4;W ?8 @1AHA5 1X 1XB;WX;: N9X X5WH 层中含A5、@1A 和 A5 J ，且A5 呈结晶态；铜镀层在高温下与 80=; 1X X/??97 0 ;Z;: ^0?/2] B12; 5B 81; =]X918?W/ @1A 粉体能够较好共存，无脱落现象。扫描电镜照片显示，@1AH /;902 FW052;X =0 \; X;; ? 97; X5W80=;: A5 复合粉体分散性良好，镀层表面平滑、均匀，并有细小的金 8*’1(2- ：02[021; ;2;=9W?2;XX B2091F ；@1AHA5 ；=?/B?X19; 属胞状颗粒随机堆积而成。 B?4;W ；=?BB;W X5\X9W09; @1AHA5 ；复合粉体；铜基关键词：碱性化学镀； 92-$:4%$,(2;- 42*-- ：@=7??2 ?8 b09;W102X @=1;=; 0